[发明专利]一种测量脉冲激光能量的方法及系统有效
申请号: | 201010568934.7 | 申请日: | 2010-12-01 |
公开(公告)号: | CN102486402A | 公开(公告)日: | 2012-06-06 |
发明(设计)人: | 达争尚;田新锋;董晓娜;刘力;孙策 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 商宇科 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 脉冲 激光 能量 方法 系统 | ||
1.一种测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述测量脉冲激光能量的方法包括以下步骤:
1)建立已知激光光场的强度分布的灰度与激光能量之间的转换关系;
2)获取待测激光光场的强度分布的灰度;
3)根据步骤1)所得到的转换关系将待测激光光场的强度分布的灰度转化成待测激光能量。
2.根据权利要求1所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤1)的具体实现方式是:
1.1)将已知激光能量经过积分球后输入科学级CCD;
1.2)经科学级CCD输入步骤1.1)中已知激光的光场的强度分布的灰度;
1.3)根据已知激光能量和激光光场的强度分布的灰度建立关系曲线。
3.根据权利要求2所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤1)的具体实现方式中还包括:
1.4)重复步骤1.1)~1.3);
1.5)对已建立的已知激光能量和激光光场的强度分布的灰度的关系曲线进行拟合和校正。
4.根据权利要求3所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤1.5)中对关系曲线进行拟合的实现方式是最小二乘法。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤3)的具体实现方式是:
3.1)获取经科学级CCD中每个像元所输出的待测激光光场的强度分布的灰度;
3.2)通过对经科学级CCD中每个像元的激光光场的强度分布的灰度求和来获取经科学级CCD中整体像元所输出的待测激光光场的强度分布的灰度:
3.3)将已经求和的激光光场的强度分布的灰度根据步骤1)所建立的关系曲线获取待测激光的总能量。
6.根据权利要求5所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤3)的具体实现方式还包括:
3.4)扣除杂光能量,所述杂光能量是泵浦光、光学表面的剩余反射以及科学级CCD图像中不可避免的杂光。
7.根据权利要求1所述的测量脉冲激光能量的方法,其特征在于:所述步骤2)的具体实现方式是:待测激光经过积分球后输入科学级CCD并输出待测激光的光场的强度分布的灰度。
8.一种用于测量脉冲激光能量的系统,其特征在于:所述用于测量脉冲激光能量的系统包括入射激光器、光学劈板、标准能量计、积分球以及科学级CCD;所述光学劈板设置与入射激光器的出射光路上;所述标准能量计设置于光学劈板的反射光路上;所述积分球设置于光学劈板的透射光路上;所述科学级CCD的敏感面和积分球内表面平齐。
9.根据权利要求8所述的用于测量脉冲激光能量的系统,其特征在于:所述积分球内表面球面积与科学级CCD的敏感面的面积之比不低于100倍。
10.根据权利要求8或9所述的用于测量脉冲激光能量的系统,其特征在于:所述光学劈板的劈角小于5°。
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