[发明专利]一种用于深紫外激光器与光发射电子显微镜连接的连接杆有效
| 申请号： | 201010566892.3 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102479651A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 包信和;慕仁涛;谭大力;金立;傅强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/15 | 分类号： | H01J37/15;H01J37/26 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 深紫 激光器 发射 电子显微镜 连接 | ||
1.一种用于深紫外激光器与光发射电子显微镜连接的连接杆，其特征在于：
包括径向截面为圆筒形的连接杆体(4)，硬磁体环(3)、光学元件(7)、软磁体材料的不锈钢滑块(9)
硬磁体环(3)穿套于连接杆体的外部，硬磁体环(3)的内圈为圆形、并与连接杆体(4)同轴；
于连接杆体(4)的内部与硬磁体环(3)相对应的位置处设有光学元件(7)，光学元件(7)为透镜，透镜的主光轴与连接杆体(4)同轴；
不锈钢滑块(9)为圆环形，不锈钢滑块(9)与光学元件(7)相固接，并与连接杆体(4)同轴设置，不锈钢滑块(9)可沿连接杆体(4)的轴向滑动、并可沿连接杆体(4)的径向转动。
2.按照权利要求1所述的连接杆，其特征在于：
于所述的硬磁体环(3)的外侧壁上包裹有磁力屏蔽罩。
3.按照权利要求1所述的连接杆，其特征在于：所述光学元件(7)为圆形透镜。
4.按照权利要求1所述的连接杆，其特征在于：所述光学元件(7)和不锈钢滑块(9)通过圆环形卡帽(8)固定连接，于卡帽(8)的一端端面上设有拉取柱(10)。
5.按照权利要求1或2所述的连接杆，其特征在于：
于不锈钢滑块(9)的两端固接有聚四氟乙烯环(6)，聚四氟乙烯环(6)的外径大于不锈钢滑块(9)的外径。
6.按照权利要求1所述的连接杆，其特征在于：于连接杆体(4)的两端设有分别用于与深紫外激光器和光发射电子显微镜对接的刀口法兰(2)。
7.按照权利要求6所述的连接杆，其特征在于：于靠近光发射电子显微镜一端的刀口法兰(2)上设有放气阀(1)。
8.按照权利要求1或2所述的连接杆，其特征在于：
于硬磁体环(3)或磁力屏蔽罩的外侧壁上设置有用于与连接杆体(4)定位的固定螺栓(5)。
9.按照权利要求1或2所述的连接杆，其特征在于：
所述连接杆体(4)上的硬磁体环(3)、光学元件(7)和软磁体材料的不锈钢滑块(9)为1组或2组以上。
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