[发明专利]液晶显示面板及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201010564422.3 申请日: 2010-11-26
公开(公告)号: CN102116982A 公开(公告)日: 2011-07-06
发明(设计)人: 陈政鸿;贺成明 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;G02F1/1333;G02F1/1368;H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 广东国晖律师事务所 44266 代理人: 欧阳启明
地址: 518057 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 液晶显示 面板 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种液晶显示面板,包含:

一玻璃基板以及多个像素单元,每一像素单元设置于所述玻璃基板上,并对应电性连接一扫描线与一数据线,每一像素单元包含:

一第一金属层,位于所述玻璃基板上,用来作为所述数据线;

一第一钝化层,位于所述玻璃基板以及所述第一金属层上;

一第二金属层,位于所述第一钝化层之上,作为一薄膜晶体管的栅极以及一存储电容的下电极;

一隔离层,位于所述第一钝化层以及所述第二金属层上;

一主动层,位于所述隔离层上,用来作为所述薄膜晶体管的传输通道;

一接触窗,形成于所述数据线的上方;以及

一透明导电层,位于所述隔离层以及所述接触窗上,所述透明导电层包含一第一电极和一第二电极,所述第一电极用来电性连接所述数据线,

所述第二电极用来作为像素电极,

其中当栅极接收一扫描电压时,会将所述数据线传来的数据电压经过所述第一电极、所述主动层传输到所述第二电极。

2.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于:还包含一欧姆接触层,位于所述主动层和所述透明导电层之间。

3.根据权利要求2所述的液晶显示面板,其特征在于:还包含一通孔,贯穿所述欧姆接触层和所述透明导电层直至所述主动层。

4.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于:所述第二电极和所述存储电容的下电极重叠之处形成所述存储电容。

5.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于:所述多个像素单元包含上下相邻的第一像素单元和第二像素单元,所述第一和第二像素单元共享一扫描线。

6.一种液晶显示面板的制造方法,包含:

提供一玻璃基板;

蚀刻形成于所述玻璃基板上的第一金属层,以形成一数据线;

依序沉积一第一钝化层和一第二金属层于所述玻璃基板以及所述第一金属层上;

蚀刻所述第二金属层,以形成一薄膜晶体管的栅极和一存储电容的下电极;

依序沉积一隔离层以及一主动层于所述第一钝化层以及所述第二金属层上;

同时蚀刻所述主动层以保留所述栅极上方的所述主动层,其中所述主动层作为所述薄膜晶体管的传输通道;

蚀刻所述数据线上方的所述第一钝化层以及所述隔离层,以于所述数据线上方形成一接触窗;

沉积一透明导电层于所述隔离层、所述数据线以及所述主动层上;以及

蚀刻所述透明导电层以将所述透明导电层分为第一电极和第二电极,其中

所述数据线经过所述接触窗上的所述第一电极电性连接所述主动层,

且所述主动层电性连接所述第二电极。

7.根据权利要求6所述的液晶显示面板的制造方法,其特征在于:

依序沉积所述隔离层、所述主动层以及一欧姆接触层于所述第一钝化层以及所述第二金属层上;

同时蚀刻所述主动层以及所述欧姆接触层以保留所述栅极上方的所述主动层以及所述欧姆接触层,其中所述主动层作为所述薄膜晶体管的传输通道;

蚀刻所述数据线上方的所述第一钝化层以及所述隔离层,以于所述数据线上方形成一接触窗;

沉积所述透明导电层于所述隔离层、所述数据线以及所述欧姆接触层上;以及

蚀刻所述透明导电层以及所述欧姆接触层,以将所述透明导电层分为第一电极和第二电极将所述欧姆接触层分为第一欧姆接触层和第二欧姆接触层,其中所述数据线经过所述接触窗上的所述第一电极,所述第一欧姆接触层位于所述第一电极和所述主动层之间,且第二欧姆接触层位于所述第二电极和所述主动层之间。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司,未经深圳市华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010564422.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top