[发明专利]一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置

权利要求书

1.一种在玻璃材料中制作微通道的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；

②将由纳秒激光器发出的激光通过数值孔径NA为0.25～0.7的聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；

③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道；所述的纳秒激光的参数为：脉宽5～30ns，波长355～1064nm，脉冲频率1～100KHz，脉冲能量1～10mJ。

2.一种实现权利要求1所述方法的装置，其特征在于，该装置包括三维平台、超声波清洗机、支架和聚集镜；超声波清洗机在工作时固定在三维平台的水平工作台上，用于安放待加工玻璃材料的支架放置于超声波清洗机的腔体内；聚集镜固定在三维平台的垂直轴上，并位于支架的上方。

3.根据权利要求2述的装置，其特征在于，该装置还包括CCD相机和照明光源，两者分别位于待加工玻璃材料的两侧。