[发明专利]负型光阻组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种负型光阻组合物，其至少含有：

(A)为碱可溶性且可由于酸的作用而变为碱不溶性的基础树脂、及/或为碱可溶性且可由于酸的作用而与交联剂反应变为碱不溶性的基础树脂与交联剂的组合；

(B)产酸剂；及

(C)作为碱性成分的含氮化合物；

其特征在于：所述基础树脂至少含有由下述通式(1)及下述通式(2)所表示的重复单元，且重量平均分子量为1,000～10,000，

通式中，R¹、R²分别独立地表示氢原子或甲基，X表示羟基以外的供电子基；另外，m及n是1～4的整数，

所述作为碱性成分的含氮化合物，至少包含一种以上的具有羧基且不具有以共价键与作为碱性中心的氮原子键合的氢的胺化合物。

2.根据权利要求1所述的负型光阻组合物，其中：

所述由X表示的供电子基，是选自氢原子、碳数为1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数为1～10的烷氧基及碳数为1～10的硫代烷基中的一种以上基团。

3.根据权利要求1所述的负型光阻组合物，其中：

所述由X表示的供电子基，是选自甲基、乙基、甲氧基及乙氧基中的一种以上基团。

4.根据权利要求2所述的负型光阻组合物，其中：

所述由X表示的供电子基，是选自甲基、乙基、甲氧基及乙氧基中的一种以上基团。

5.根据权利要求1所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂进一步含有由下述通式(3)及/或通式(4)所表示的重复单元，

通式中，R³、R⁴、R⁵分别独立地表示氢原子、羟基、碳数为1～10的烷基及碳数为1～10的烷氧基中的任一者，u及v为0～5的整数。

6.根据权利要求2所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂进一步含有由下述通式(3)及/或通式(4)所表示的重复单元，

通式中，R³、R⁴、R⁵分别独立地表示氢原子、羟基、碳数为1～10的烷基及碳数为1～10的烷氧基中的任一者，u及v为0～5的整数。

7.根据权利要求3所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂进一步含有由下述通式(3)及/或通式(4)所表示的重复单元，

通式中，R³、R⁴、R⁵分别独立地表示氢原子、羟基、碳数为1～10的烷基及碳数为1～10的烷氧基中的任一者，u及v为0～5的整数。

8.根据权利要求4所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂进一步含有由下述通式(3)及/或通式(4)所表示的重复单元，

通式中，R³、R⁴、R⁵分别独立地表示氢原子、羟基、碳数为1～10的烷基及碳数为1～10的烷氧基中的任一者，u及v为0～5的整数。

9.根据权利要求1所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。

10.根据权利要求2所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。

11.根据权利要求3所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。

12.根据权利要求4所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。

13.根据权利要求5所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。

14.根据权利要求6所述的负型光阻组合物，其中：

所述基础树脂的重量平均分子量为1,000～5,000。