[发明专利]间隔体散布装置、间隔体散布方法以及液晶面板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在形成于基板上的电极图案上散布间隔体的间隔体散布装置、间隔体散布方法以及采用该间隔体散布装置的液晶面板制造方法。

背景技术

在液晶面板的制造中具有间隔体散布处理，即为了保持液晶面板间的间隔，而将被称为间隔体的金属微粒、合成树脂微粒、无机微粒等配置在形成于基板上的电极图案上。作为间隔体的散布方法之一，具有将间隔体与压缩空气一起吹到基板上的间隔体散布方法。在该间隔体散布处理中，从品质的观点来看需要在基板上均匀地配置间隔体，从而提出了用于使间隔体均匀散布的各种方法。

图7是示出现有的间隔体散布处理中使用的间隔体散布装置的一例的图。间隔体散布装置在密闭或接近密闭状态的容器90a的上端部设置有散布间隔体91的喷嘴90b，在喷嘴90b的下面配置有对间隔体散布对象基板92进行吸附保持的工作台90c。当开始间隔体散布处理时，通过输送装置把基板92输送到容器90a内并配置在工作台90c上。接着，将与压缩空气一起通过配管90d输送的间隔体91从喷嘴90b向基板92散布。在利用压缩空气等在配管90d内输送间隔体91时，间隔体91带正电或负电。各间隔体91因为同极性地带电，所以相互排斥，从而比较均匀地散布。此时，如果待散布间隔体91的基板92的电极的电位相同，则能够在基板92上均匀地散布间隔体91。但是，在表面具有电极的基板上散布间隔体的情况下，当电极间产生电位差时，在电极之间间隔体的散布状态不同。因此，提出了如下这样的方法：对基板上所形成的多个电极施加与间隔体的带电极性相同极性的电压，并利用对间隔体作用的斥力来散布间隔体(例如，参照专利文献1或专利文献2)。

日本特开2002-258316号公报

国际公开WO00/31580号

近年来，液晶面板也需要轻量化、薄型化，取代采用玻璃基板的液晶面板，采用树脂制基板的液晶面板得到了普及。但是，现有的间隔体散布装置是以玻璃基板为前提的，这样如果直接应用于树脂制基板，则具有难以均匀地散布间隔体的问题。

例如一般地，树脂制基板(尤其是膜基板)与玻璃基板相比容易带电且刚性较低，所以在图7的例子中具有如下这样的问题：树脂制基板与工作台90c之间容易产生摩擦，由摩擦产生的静电会导致难以均匀地配置间隔体91。

另外，关于树脂制基板，由于可薄型化及柔软性高这样的特征，在很长的卷状的薄型原料基板上连续形成多个电极图案。在采用这种形状的树脂制基板的液晶面板的制造工艺中，依次送出卷绕在辊上的处理前的树脂制基板并输送到间隔体散布装置内来散布间隔体91，在卷取侧的辊上卷绕完成散布的树脂制基板。在这样的结构中，散布间隔体91时的树脂制基板仅通过送出侧的辊和卷绕侧的辊的力来固定位置。在途中设置了引导辊的情况下也同样，利用引导辊来固定树脂制基板的位置。因此例如产生如下的问题：由于与间隔体91一起释放出的压缩空气的风压而使树脂制基板在上下方向上运动。此时，位于下方的工作台90c的台面与树脂制基板接触而发生摩擦，并产生摩擦静电，由于该静电的影响，带电的间隔体有可能无法均匀地散布在树脂制基板上。另外，在输送树脂制基板时，也因为树脂制基板通过工作台90c上方，会产生同样的问题。

发明内容

鉴于这样的问题，本发明的目的是提供间隔体散布装置、间隔体散布方法以及液晶面板制造方法，能在由于间隔体散布时的风压等而与周围摩擦且容易产生静电的树脂制基板上均匀地配置间隔体。

为了解决上述课题，提供了具有压板机构部和控制部，并在基板上形成的电极图案上散布间隔体的间隔体散布装置。压板机构部具有压板，在间隔体散布装置的容器内，朝电极图案连续的方向输送以规定间隔连续地形成了多个电极图案的树脂制基板，并散布间隔体时，该压板抑制间隔体散布装置的容器内的树脂制基板的运动，该压板机构部根据指示而切换使压板离开树脂制基板的第1状态和将压板配置在树脂制基板上的第2状态。控制部在输送树脂制基板时，对压板机构部指示第1状态，使得能够输送树脂制基板。另外，在树脂制基板上的散布对象电极图案到达规定位置，并对该散布对象电极图案进行间隔体的散布时，对压板机构部指示第2状态，抑制树脂制基板的运动。

另外，为了解决上述课题，还提供进行与上述同样处理过程的间隔体散布方法以及液晶面板制造方法。