[发明专利]壳体及其制造方法有效
| 申请号: | 201010553154.5 | 申请日: | 2010-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN102477526A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;张满喜 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 壳体 及其 制造 方法 | ||
1.一种壳体,包括镁或镁合金基体及形成于该镁或镁合金基体上的颜色层,其特征在于:该颜色层为具有防腐蚀性能的电绝缘层,该壳体还包括形成于所述镁或镁合金基体与颜色层之间的硅化镁层。
2.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述硅化镁层的厚度为300~1000nm。
3.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述颜色层包括依次形成于硅化镁层上的二氧化钛层及二氧化硅层。
4.如权利要求3所述的壳体,其特征在于:二氧化钛层的厚度为50~150nm,所述二氧化硅层的厚度为50~150nm。
5.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述硅化镁层及颜色层以磁控溅射镀膜法、电弧离子镀膜法或蒸发镀膜法形成。
6.一种壳体的制造方法,包括以下步骤:
提供镁或镁合金基体;
于该镁或镁合金基体上磁控溅射形成硅化镁层;
于该硅化镁层上磁控溅射形成颜色层,该颜色层为具有防腐蚀性能的电绝缘层。
7.如权利要求6所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射所述硅化镁层以如下方式实现:以氩气为工作气体,其流量为150~300sccm,设置占空比为30%~70%,于镁或镁合金基体上施加-50~-300V的偏压,以硅化镁靶为靶材,设置其电源功率为5~10kw,溅射温度为50~150℃,溅射时间为30~120min。
8.如权利要求6所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射所述颜色层包括依次溅射二氧化钛层及二氧化硅层的步骤。
9.如权利要求8所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射形成所述二氧化钛层以如下方式实现:以氩气为工作气体,其流量为150~300sccm,以氧气为反应气体,其流量为10~80sccm,于镁或镁合金基体施加-50~-180V的偏压,以钛靶为靶材,设置其电源功率为5~10kw,溅射温度为50~150℃,溅射时间为2~30min。
10.如权利要求9所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射形成所述二氧化硅层以如下方式实现:以氩气为工作气体,其流量为150~300sccm,以氧气为反应气体,其流量为10~80sccm,于镁或镁合金基体施加-50~-180V的偏压,以硅靶为靶材,设置其电源功率为5~10kw,溅射温度为50~150℃,溅射时间为2~30min。
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