[发明专利]基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统

权利要求书

1.基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：包括能发出频率连续变化的光波的扫频激光器、安装在机床的被测导轨上的靶镜和位于所述的扫频激光器与靶镜之间、获取被测物体的误差的检测机构；

所述的扫频激光器与所述的检测机构之间设有将来自扫频激光器的光信号分成X向光信号和Y向信号的总分光镜；所述的检测机构包括获取X向光信号、检测X向误差的X向检测机构和获取Y向光信号、检测Y向误差的Y向检测机构；

所述的靶镜由两面正交的反射镜组成，其中一面反射镜与X轴垂直；

所述的X向检测机构和Y向检测机构均包含有接收光信号、并将其分为两束相互垂直的分光信号的子分光镜，将其中一束分光信号反射至所述的子分光镜处的反射镜，接受子分光镜处产生的干涉光信号、并将所述的干涉光信号转换为强弱相间的电信号的光电检测器，和与所述的光电检测器连接、识别该干涉信号的周期及其周期个数的计数器，以及与所述计数器连接、将周期个数转换为被测物的圆轨迹误差的处理器；

第一分光信号朝向所述的靶镜、第二分光信号朝向所述的反射镜；所述的第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，所述的第二分光信号遇到所述的反射镜后反射形成第二反射信号，所述的第一反射信号和第二反射信号在所述的子分光镜处汇聚产生所述的干涉信号。

2.如权利要求1所述的基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：所述的扫频激光器与所述的总分光镜之间设有阻止光信号反射回扫频激光器的光隔离器。

3.如权利要求2所述的基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：所述的总分光镜与Y向检测机构的子分光镜之间设有改变Y向光信号的传播方向、使其对准Y向检测机构的子分光镜的转向反射镜。

4.如权利要求3所述的基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：所述的转向反射镜与Y轴向呈45°角。

5.如权利要求4所述的基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：所述的处理器通过公式                                                计算获得圆轨迹误差，其中：为X向检测机构的计数器在起始位置处检测到的干涉信号的周期个数；为X向检测机构的计数器在终点位置处检测到的干涉信号的周期个数；为Y向检测机构的计数器在导轨的起始位置处检测到的干涉信号的周期个数；为Y向检测机构的计数器在导轨的终点位置处检测到的干涉信号的周期个数；为干涉信号波数变化，；（，）为光源的扫频波长范围。