[发明专利]一种柱塞表面自润滑碳基镀层及其制备方法无效
| 申请号： | 201010551973.6 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101984133A | 公开（公告）日： | 2011-03-09 |
| 发明（设计）人： | 文晓斌 | 申请（专利权）人： | 深圳金迈克精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 赵琼花 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柱塞 表面 润滑 镀层 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种柱塞表面自润滑碳基镀层，其特征在于：它是采用磁控溅射离子镀技术，在柱塞表面上沉积产生的以碳为基体的含有少量铬的复合镀层；
所述镀层厚度为1.5μm～2.5μm，硬度为2000HV～2500HV；摩擦系数为0.05～0.09，比磨损率为(2～4)×10-17m3/N·m。
2.一种柱塞表面自润滑碳基镀层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将柱塞清洗干燥后放入多靶磁控溅射离子镀设备的真空室内，并将真空室抽真空到(2～6)×10-3Pa；
S2、通入氩气，整个镀膜过程中氩气的流量为20～30sccm；
S3、离子轰击清洗，其时间为30～60min，此时调整负偏压值为-500V～-200V，脉冲频率为150～250KHz，脉冲宽度为500～1000ns；
S4、开始镀膜阶段，调整负偏压值为-65V～-95V，脉冲频率为50～150KHz，脉冲宽度为1000～1500ns；
S5、在镀膜时同时开启两个碳靶和一个铬靶，靶材电流分别为：ICr＝0.2～0.5A，IC＝6～9A；工作时间为240～360min；
S6、镀膜完成后，断电，冷却至室温，取出柱塞。
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