[发明专利]一种制备超纯铜锭的方法

权利要求书

1.一种制备超纯铜锭的方法，其特征在于，在制备过程中使用纯度为99.9999％的电解铜板为原料，经过表面清洗后，采用真空电子束熔炼炉对所述原料进行熔炼得到超纯铜锭。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述熔炼炉的枪室真空为6.3×10^-4Pa，聚焦真空为5.3×10^-4Pa，炉内真空为1.1×10^-3Pa。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在熔炼过程中，灯丝电压为8-12V、灯丝电流为20-40A、副高压电压为1.0-2.2kV、轰击电流为1.0-2.0A、主高压电压为19-30kV、电子束流为2.0-3.0A、一聚焦电流为80-150mA、二聚焦电流为60-140mA、三聚焦电流为0-100mA、加速极电流为＜100mA、一栏孔电流＜200mA、二栏孔电流＜200mA。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，熔炼过程采用电子束作为热源，熔料速度快，熔炼效率高。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，更换坩埚方便，边熔炼边拉锭，可以制备出直径Φ80～300mm、长度≤1500mm的不同规格超纯铜锭。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用水冷铜坩埚，冷却效果好，铸锭成形好，同时还避免了坩埚对金属纯度的影响。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，熔炼过程中，铸锭可以旋转，确保了铸锭光滑的表面。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，熔炼过程中电子束可以在炉料和引锭上呈一定模式进行扫描，合理分配功率，减小金属料的挥发损失量，同时会减轻铸锭内部形成的气孔等缺陷程度。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该设备炉体内在电子枪下方增设水冷挡板，可以有效防止挥发物进入枪室，保证电子束稳定性。