[发明专利]二层或多层铁电驻极体及其制备方法无效
| 申请号: | 201010548692.5 | 申请日: | 2010-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN102064275A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
| 发明(设计)人: | W·詹宁格尔;J·瓦格纳;C·贝内克 | 申请(专利权)人: | 拜尔材料科学股份公司 |
| 主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/22 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 范赤;李连涛 |
| 地址: | 德国莱*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多层 铁电驻极体 及其 制备 方法 | ||
1.制备包含空隙(5)的二层或多层铁电驻极体(3)的方法,所述铁电驻极体不包括具有由两个FEP层中间的PTFE制造的穿孔的中间层的三层铁电驻极体,该方法特征在于以下步骤:
A)借助于去除方法将一个或多个间隙(4a)引入聚合物膜元件(1)的至少一个表面侧,
B)将第一覆盖物(2)施加到包含在步骤A)中形成的间隙(4)的聚合物膜元件(1)的表面侧,和
C)将聚合物膜元件(1)和覆盖物(2)结合形成聚合物膜复合材料(3),间隙(4)被封闭而形成空隙(5)。
2.权利要求1的方法,特征在于步骤A)中间隙(4a)的引入通过激光烧蚀、蚀刻、刨削、磨削和/或铣削来进行。
3.权利要求1的方法,特征在于在步骤A1)中将一个或多个间隙(4b)引入覆盖物(2)的表面侧。
4.权利要求3的方法,特征在于覆盖物(2)的表面侧中的间隙(4b)和聚合物膜元件(1)的表面侧中的间隙(4a)被设置成使得它们至少部分重叠,并因此形成共同的空隙(5)。
5.权利要求1的方法,特征在于聚合物膜元件(1)和/或覆盖物(2)包括相互结合的至少第一和第二聚合物膜(1a、1b);(2a、2b)。
6.权利要求5的方法,特征在于步骤A)中将间隙(4a)引入聚合物膜元件(1、1a)的表面侧和/或在步骤A1)中将间隙(4b)引入覆盖物(2)的表面侧进行到直至第二聚合物膜(1b、2b)。
7.权利要求1的方法,特征在于在步骤C)中聚合物膜元件(1)和覆盖物(2)结合形成二层或多层铁电驻极体(3)通过层压、粘合剂粘结、扣紧、卡装、螺纹连接、铆接或焊接来进行。
8.权利要求1的方法,特征在于将电极(6)施加到二层或多层铁电驻极体(3)的朝外的表面在步骤D)中空隙(5)的内表面充电之前和/或之后来进行。
9.权利要求1的方法,特征在于步骤A)、B)、C)和/或D)以连续卷-到-卷工艺进行。
10.权利要求1的方法,特征在于包括在步骤D)中空隙(5)的内表面充电之前或之后作为另外的步骤E)来将步骤C)中形成的二层或多层铁电驻极体(3)的边缘密封。
11.权利要求1的方法,特征在于包括在步骤D)中的极化之前在另外的步骤F)中将气体充填到二层或多层铁电驻极体(3)中的空隙(5)中。
12.具有空隙的二层或多层铁电驻极体,该铁电驻极体不包括具有由两个FEP层之间的PTFE制造的穿孔的中间层的三层铁电驻极体,所述具有空隙的二层或多层铁电驻极体包含:
-至少第一聚合物膜元件(1),其具有至少一个包含间隙(4a)的表面侧,和
-至少第一覆盖物(2),
覆盖物(2)被设置在所述包含间隙(4a)的聚合物膜元件(1)的第一表面侧上,和
间隙(4a)由覆盖物(2)封闭,从而形成空隙(5)。
13.二层或三层铁电驻极体,特征在于其通过权利要求1的方法生产。
14.压电元件,其包含权利要求12或13的二层或多层铁电驻极体,特征在于所述聚合物膜元件和/或覆盖物包括至少两个相互结合的聚合物膜。
15.权利要求14的压电元件,特征在于其为传感器、执行器和/或发电元件。
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