[发明专利]基于数字微镜光源的并行共焦测量系统及测量方法

权利要求书

1.基于数字微镜光源的并行共焦测量系统，其特征是：设置以DMD微镜控制系统和DMD芯片构成的、可以控制DMD芯片中任一微镜的偏转的DMD系统(2)；准直光源(1)发出的光束在所述DMD系统(2)中形成反射，由所述DMD系统(2)形成的反射光经过成像透镜(3)形成测量所需的光源，所述测量所需的光源依次经过分光镜(4)和望远镜系统(5)投照在工作台(6)上的被测物表面，由所述被测物将投照在其表面的光束反射至面阵CCD(7)，构成并行共焦测量系统。

2.一种权利要求1所述基于数字微镜光源的并行共焦测量系统的测量方法，

设系统中准直光源的波长为λ，测量量程为L，系统要求的横向分辨率为δ，系统的放大率为M，DMD芯片是由m′n个微镜构成的微镜阵列，每个正方形微镜的边长为d₀，每个微镜在阵列中的位置用d_i，j表示，其中i和i分别表示该微镜的横坐标和纵坐标，i＝1，2，…，m；j＝1，2，…，n；那么k′k个微镜构成的点光源大小为kd₀′kd₀；

其特征是所述测量方法按如下步骤进行：

a、由泰伯间距的公式z＝2d/l，为使系统量程达到L，则所构建的光源周期d＝d₁，此时点光源间距N₁＝d₁/d₀；

b、控制d_i，j偏转+12°，其中：i=1+aN1,2+aN1,···,k+aN1j=1+bN1,2+bN1,···,k+bN1a=0,1,2,···,[m/(k+N1)]b=0,1,2,···,[n/(k+N1)]]]>

其余微镜偏转-12°，构建出预览光源；由所述预览光源确定点光源对应区域的正焦面位置；

c、由d₂＝d/M确定光源周期光源点间距N₂＝d₂/d₀；

d、控制d_i，j偏转+12°，其中i=1+aN2,2+aN2,···,k+aN2j=1+bN2,2+bN2,···,k+bN2a=0,1,2,···,[m/(k+N2)]b=0,1,2,···,[n/(k+N2)]]]>

其余微镜偏转-12°，构建出测量光源；在已探知正焦面位置的情况下，用测量光源进行并行共焦测量，得到各采样点的坐标值。