[发明专利]分解集成电路布局的方法以及计算机可读取媒体有效

专利信息
申请号: 201010546487.5 申请日: 2010-11-12
公开(公告)号: CN102147820A 公开(公告)日: 2011-08-10
发明(设计)人: 陈笔聪;池明辉;谢艮轩;王伟龙;黄文俊;刘如淦;高蔡胜;杨稳儒;张广兴;严永松 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 陈红
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 分解 集成电路 布局 方法 以及 计算机 读取 媒体
【说明书】:

技术领域

发明的实施例一般相关于集成电路布局。在本发明各种实施例中所提供的机制可以使布局满足双重图案技术要求,包括将布局分开成不同的光罩。

背景技术

如果集成电路的布局包括冲突循环,就不能分开成二光罩。一冲突循环可称为一奇循环,因为它是在包含奇数边缘的冲突图中的一循环。许多布局设计者(例如:半导体代工厂的客户)没有工具来检查那些冲突循环,因此可能违反分开布局的规则。因为在接合位置上的限制,许多布局方式无法修复一奇循环和相关问题。一直接的方法是将图案分开、通过接合区域连接多边形、并使用一矩阵全域求解以分解布局。然而,这种方法消耗海量存储器并增加循环时间,客户一般不参与布局制作过程,而布局制作过程对使用者并不方便,因为当切割或不切割多边形时采用不同的方法来分解布局。

发明内容

本发明的目的在于提供一种分解集成电路布局的方法以及储存有多个计算机指令的计算机可读取媒体。

本发明的实施例一般相关于集成电路布局。各种实施例提供包括双重图案技术的技术,以确保布局是可分开的。在一方法实施例中,在具有一布局库的一客户场所产生一布局以作为输入,其中布局库提供已确认为可分开的且能够使用的示例性布局,和可避免导致冲突的布局。本发明的实施例亦提供一实时奇循环(real-time odd cycle)检查器,其中在布局产生期间,该检查器在冲突区域和奇循环出现时,实时将它们识别出来。为了减少内存的使用,可以在一防护带(guard band)区域分开各种装置的布局,以针对冲突来检查每一单独的布局或少数布局,而不是整个应用电路的一个大的布局。一旦在客户场所准备好布局,它就被发送到制造场所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本发明亦有揭露其它实施例。

本发明一实施例提供一种分解集成电路布局的方法,其特点在于,包含下列步骤:产生多个多边形,其对应于一集成电路的多个电路;确认下列的一或多组合:一冲突多边形、一冲突边缘和一奇循环;及如果存在该奇循环,则消除该奇循环。

上述分解集成电路布局的方法,其中在产生该多个多边形时执行上述确认的步骤。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:提供已被确认为可分开的该多个多边形,和被确认为不可分开的该多个多边形,以用于产生对应于该集成电路的该多个电路的该多个多边形。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:若允许减少一多边形,则确认一冲突区域和一连接区域。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:确认一候选接合位置;以及如果该候选接合位置不用于接合,另合并被该候选接合位置分开的多个多边形。

上述分解集成电路布局的方法,其中上述消除该奇循环的步骤是通过使用一垂直整合的分辨率增强技术来进行或修改至少一多边形来进行。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:限制对应于该集成电路的该多个电路的一布局的一大小。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:使用多个接合组件来确认多个候选接合位置;以及决定是否一候选接合位置可用于接合,而如果该候选接合位置不能用于接合,则合并被该候选接合位置分开的多个多边形部分。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:将多个接合位置储存为一文件,其中该多个储存的接合位置在之后用于分解该集成电路的一布局。

上述分解集成电路布局的方法,其中另包括:依据一使用者要求,改变多个角落形状的一数目;以及依据一接合组件的一大小,改变多个角落形状的一数目。

本发明另一实施例提供一种储存有多个计算机指令的计算机可读取媒体,其特点在于,该多个计算机指令执行一方法,包括下列步骤:提供多个多边形,其对应于多个集成电路;使用一冲突间距,以确认至少一冲突区域;指示允许多边形切割;基于该至少有一冲突区域,确认至少一冲突边缘;如果一连接区域存在,则使用一接合组件,以确认是否该连接区域是一候选接合位置;及基于该至少一冲突边缘,确认一奇循环,及如果确认该奇循环,则解决该奇循环。

上述的储存有多个计算机指令的计算机可读取媒体,其中如果该候选接合位置不用于接合,则另合并被该候选接合位置分开的多个多边形部分。

上述的储存有多个计算机指令的计算机可读取媒体,其中如果该候选接合位置不用于接合,则另将相关于该候选接合位置的信息储存为一文件,以供未来使用。

上述的储存有多个计算机指令的计算机可读取媒体,其中该方法另使用相关于一布局单元的防护带信息,以节省内存的使用。

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