[发明专利]激光器中空间滤波器的在线监测装置及空间滤波器

权利要求书

1.一种激光器中空间滤波器的在线监测装置，其特征在于，包括全反射三棱镜、透镜、光源以及观测单元，所述全反射三棱镜具有相互垂直的第一透射面和第二透射面以及一个反射面，所述透镜与所述全反射三棱镜的第一透射面平行，且所述透镜位于全反射三棱镜与观测单元之间，所述光源垂直照射所述全反射三棱镜的第一透射面。

2.如权利要求1所述的激光器中空间滤波器的在线监测装置，其特征在于，还包括设于所述透镜与全反射三棱镜之间的遮光筒，所述遮光筒一端与所述全反射三棱镜的第一透射面相接，另一端与所述透镜相接。

3.如权利要求1或2所述的激光器中空间滤波器的在线监测装置，其特征在于，所述观测单元设于所述透镜的两倍焦距处，且与所述遮光筒分设于所述透镜的两侧。

4.如权利要求1所述的激光器中空间滤波器的在线监测装置，其特征在于，所述光源的发散角度为6°至10°，所述全反射三棱镜的第一透射面与所述反射面的夹角为45°至65.6°。

5.如权利要求1所述的激光器中空间滤波器的在线监测装置，其特征在于，所述透镜为可变焦的透镜组。

6.一种激光器的空间滤波器，包括主体、设于所述主体两端的正透镜以及设于所述正透镜之间并位于所述正透镜焦点处的光阑，所述光阑上具有光孔，所述光阑与正透镜之间形成空腔，所述空腔由透明窗口片密封，其特征在于，还包括在所述空腔的至少一处设置的在线监测装置，所述在线监测装置包括全反射三棱镜、透镜、光源以及观测单元，所述全反射三棱镜具有相互垂直的第一透射面和第二透射面以及一个反射面，所述第一透射面与所述透明窗口片粘合且整个全反射三棱镜设于所述空腔中，且所述全反射三棱镜的下端顶点与激光传输通路之间相互间隔，所述光源垂直照射所述第一透射面。

7.如权利要求6所述的激光器的空间滤波器，其特征在于，还包括设于所述透镜与透明窗口片之间的遮光筒，所述遮光筒一端与所述透明窗口片相接并与所述全反射三棱镜的第一透射面相对，另一端与所述透镜相接。

8.如权利要求6所述的激光器的空间滤波器，其特征在于，所述全反射三棱镜的折射系数与所述透明窗口片相同。

9.如权利要求6所述的激光器的空间滤波器，其特征在于，所述透镜为可变焦的透镜组。

10.如权利要求6所述的激光器的空间滤波器，其特征在于，所述在线监测装置的数量为两个，且对称地设于光阑两侧。

11.如权利要求6所述的激光器的空间滤波器，其特征在于，所述全反射三棱镜下端顶点处与激光传输通路之间的距离为3mm至5mm。