[发明专利]一种多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种晶硅还原炉，包括中空含夹套冷却水的钟罩式双层外壳、底盘、电极、导电硅芯、电极座、混合气进气喷头、混合气出气口、外壳的冷却水进口和出口、电极的冷却水进口和电极的冷却水出口、底盘的冷却水进口和出口、底盘支架；其特征是在还原炉内顶部设置有顶部隔板(4)，顶部隔板上设置有开孔(19)和弧形凸起结构(20)；开孔(19)在每对导电硅芯上方，每对导电硅芯的中心线和隔板上的相应开孔的中心线在同一轴线上；每个混合气进气喷头上方设置有弧形凸起结构(20)，每个混合气进气喷头的中心线和隔板上的相应弧形凸起结构的中心线在同一轴线上，开孔和凸起错开分布，隔板的中心设置有混合气出气口(18)，下与混合气出气管道(16)连接。

2.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是所述的顶部隔板(4)为烧结板，使用材料为不锈钢、镍基合金或石英。

3.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是所述的开孔(19)为圆形，直径为导电硅芯直径的8-10倍。

4.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是所述的开孔(19)数等于导电硅芯对数。

5.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是所述的弧形凸起结构(20)形状为分成大小不等两部分球体的小的部分形状，直径为混合气进气喷头直径的3-5倍。

6.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是所述的弧形凸起结构(20)数量与混合气进气喷头的数量一致。

7.如权利要求1所述的一种晶硅还原炉，其特征是电极的冷却水进口和电极的冷却水出口均与底盘相通，电极的冷却水进口设置在底盘下端，电极的冷却水出口设置在底盘上端。