[发明专利]用加热甲烷处理金属表面的方法无效
申请号: | 201010540163.0 | 申请日: | 2010-11-11 |
公开(公告)号: | CN102061437A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 张昕;刘立龙;吴晓京;卢茜;朱玮;周乾飞;杜晓琴 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | C23C8/06 | 分类号: | C23C8/06;H01L21/56 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热 甲烷 处理 金属表面 方法 | ||
1.一种金属表面处理方法,其特征在于包括下述步骤:利用加热气体对待处理件进行表面处理,所述气体为甲烷,所述的待处理件为金属或镀有该金属的制品。
2.如权利要求所述的金属表面处理方法,其特征在于:所述的加热气体的具体操作步骤为:(1)采用真空管式炉,将所述待处理件置于真空管式炉的恒温区;(2)将炉管抽真空至100Pa以下;(3)打开气体源,向炉管中通入甲烷气体;(4)重复步骤(2)和(3)一次;(5)加热炉管内的甲烷气体,用加热的甲烷处理所述待处理件表面。
3.如权利要求2所述的金属表面处理方法,其特征在于:步骤(3)中所述炉管的气压在充入甲烷后为一个大气压。
4.如权利要求2或3所述的金属表面处理方法,其特征在于:步骤(5)加热温度在50℃~1000℃;处理时间5分钟~360分钟。
5.如权利要求1~4之一所述的金属表面处理方法,其特征在于:所述的金属为镍或铜,所述的镀有该金属的制品为镀镍的铜。
6.一种由权利要求1~5之一所述的方法处理的金属或镀有该金属的制品。
7.如权利要求6所述的镀有该金属的制品为镀镍的铜引线。
8.如权利要求6所述的金属或镀有该金属的制品作为引线框架材料的应用,所述的金属为镍或铜。
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