[发明专利]靶材及其使用于硬碟的记录层材料

权利要求书

1.一种靶材，其特征在于，该靶材是以CoPt、CoCrPt或CoCrPtB为主的材料中再添加氧化物组合物所形成；其中该氧化物组合物包含原子百分比为4％至8％的SiO₂；以及原子百分比为0.8％至5％的Cr₂O₃。

2.如权利要求1所述的靶材，其特征在于，该氧化物组合物进一步包含选自于由下列所构成的群组至少之一者：TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、ZrO₂、Y₂O₃、HfO₂及其等的组合。

3.如权利要求1所述的靶材，其特征在于，该氧化物组合物进一步包含选自于由下列所构成的群组的物质：Cu、CuO及其等的组合。

4.一种硬碟记录层材料，其特征在于，该硬碟记录层材料是使用一种如权利要求1至3中任一项所述的靶材所溅镀而成。

5.如权利要求4所述的硬碟记录层材料，其特征在于，该硬碟记录层材料是由以CoPt、CoCrPt或CoCrPtB为主要材料添加氧化物组合物所形成，其中该氧化物组成物包含以整体材料为基准4至8原子百分比的SiO₂；以及0.8至5原子百分比的Cr₂O₃。

6.如权利要求5所述的硬碟记录层材料，其特征在于，该氧化物组合物进一步包含选自于由下列所构成的群组至少之一者：TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、ZrO₂、Y₂O₃、HfO₂及其等的组合。

7.如权利要求5或6所述的硬碟记录层材料，其特征在于，该氧化物组合物进一步包含选自于由下列所构成的群组的物质：Cu、CuO及其等的组合。

8.如权利要求5或6所述之硬碟记录层材料，其特征在于，该氧化物组合物占整体体积的比率为25至31体积百分比。

9.如权利要求7所述的硬碟记录层材料，其特征在于，该氧化物组合物占整体体积的比率为25至31体积百分比。