[发明专利]激光照射装置、激光照射方法及晶质半导体膜的制作方法

权利要求书

1.一种激光照射装置，包括：

激光振荡器，发射具有7ps或更短脉宽的激光束；

至少一个反射镜，用于沿一个方向偏转所述激光束；以及

透镜，用于使被所述反射镜偏转的激光束在预定平面上形成图像。

2.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述反射镜是检流计镜。

3.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述透镜是fθ透镜。

4.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述反射镜是用于沿第一方向扫描所述激光束在被照射物上的光束点的第一反射镜，以及

其中所述激光照射装置包括用于沿与所述第一方向垂直的第二方向扫描在所述被照射物上的光束点的第二反射镜。

5.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述激光照射装置还包括载物台，所述载物台用于将被照射物安装在其上并用于沿与所述一个方向垂直的方向进行移动。

6.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述激光束具有10MHz或更高的脉冲重复频率。

7.如权利要求1所述的激光照射装置，

其中所述激光束是二次谐波或被转换为所述二次谐波。

8.一种晶质半导体膜的制作方法，包括：

在衬底上形成非晶半导体膜；

用从激光振荡器发射的具有7ps或更短脉宽的激光束以这样的方式照射所述非晶半导体膜以形成所述晶质半导体膜：通过至少一个反射镜与透镜在所述非晶半导体膜上扫描所述激光束。

9.如权利要求8所述的方法，

其中所述反射镜是检流计镜。

10.如权利要求8所述的方法，

其中所述透镜是fθ透镜。

11.如权利要求8所述的方法，

其中所述反射镜是用于沿第一方向扫描所述激光束在所述非晶半导体膜上的光束点的第一反射镜，以及

其中通过用于扫描在所述非晶半导体膜上的所述光束点的第二反射镜沿与所述第一方向垂直的第二方向扫描所述光束点。

12.如权利要求8所述的方法，

其中通过所述反射镜沿第一方向在所述非晶半导体膜上扫描所述激光束，

其中通过所述衬底被安装在其上的载物台沿与所述第一方向垂直的第二方向在所述非晶半导体膜上扫描所述激光束。

13.如权利要求8所述的方法，

其中所述激光束具有10MHz或更高的脉冲重复频率。

14.如权利要求8所述的方法，

其中所述激光束是二次谐波或被转换为所述二次谐波。

15.如权利要求8所述的方法，

其中通过将所述激光束穿过闸门来选择性照射所述非晶半导体膜中仅需要照射激光的部分或所述非晶半导体膜中仅形成半导体元件的部分。

16.如权利要求8所述的方法，

其中所述晶质半导体膜被应用于包括选自相机、头戴式显示器、汽车导航仪、汽车音响、个人计算机以及便携式信息终端的电子器件。

17.如权利要求16所述的方法，

其中所述相机为视频相机或数码相机。