[发明专利]纳飞秒双激光复合加工系统

权利要求书

1.纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：包括飞秒激光器、纳秒激光器、同步控制电路、照明光源、半透半反镜、第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜和CCD图像探测器；

上述各部分之间的连接关系为：飞秒激光器和纳秒激光器分别通过信号控制线与同步控制电路相连；照明光源位于半透半反镜的一侧，另一侧为第二二向色镜、第一二向色镜和聚焦透镜依次同轴放置，并与照明光源位于一条直线上；CCD图像探测器位于半透半反镜的反射光路末端，该反射光路轴线与第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜的轴线垂直。

2.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的同步控制电路用于控制飞秒激光器和纳秒激光器的激光脉冲输出，使二者脉冲的前沿同步。

3.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的飞秒激光器提供加工热源，并通过产生种子自由电子瞬时局部改变加工材料的特性。

4.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的半透半反镜使照射的照明光分成能量相同的两部分，一部分被半透半反镜反射至CCD图像探测器接收，另一部分透过半透半反镜照亮非金属样品表面，从非金属样品表面反射的照明光又返回被半透半反镜反射至CCD图像探测器接收。

5.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的第一二向色镜和第二二向色镜使一定波长范围内的激光不能透射，而其他波长的激光能够透射；其中第一二向色镜不能透射、只能反射飞秒激光器出射的该波长的飞秒激光，同时其他波长的光能够透射，其能量阈值大于飞秒激光的能量；第二二向色镜不能透射、只能反射纳秒激光器出射的该波长的纳秒激光，同时其他波长的光能够透射，其能量阈值大于纳秒激光的能量。

6.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的聚焦透镜使飞秒激光束、纳秒激光束和照明光光束聚焦到非金属样品表面，其能量阈值大于飞秒激光和纳秒激光的能量。

7.根据权利要求1所述的纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：所述的CCD图像探测器接收从非金属样品表面反射的照明光并进行成像，从而获得非金属样品表面被加工处的显微结构图。