[发明专利]平板状被检查体的测试装置

权利要求书

1.一种平板状被检查体的测试装置，其中，

上述测试装置包括：

面板承接件，其具有承接平板状被检查体的矩形的面板承接面；

探针单元，其具有探针块，该探针块具有按压于上述被检查体的电极的多个触头；以及

保护装置，其针对被进行对上述面板承接面的授受的被检查体进行上述触头的保护，该保护装置具有多个保护构件，该多个保护构件位于上述面板承接面的外侧；

上述多个保护构件在上述矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，

各上述保护构件的上端位于比上述触头的最高位置靠向上方的位置。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述保护装置包括调准装置，该调准装置相对于上述触头对由上述面板承接件承接的被检查体进行定位，

上述调准装置包括：在与上述矩形的相对的一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别在对应的边的长度方向上隔开间隔地配置的一对第1推动机构和一对第1定位机构；以及在与上述矩形的相对的另外一对边中的一条边和另一条边对应的部位上分别配置的第2推动机构和第2定位机构；

上述推动机构或上述定位机构作为上述保护构件发挥作用。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其中，

上述推动机构和上述定位机构分别包括：推压构件，其位于与由上述面板承接件承接的被检查体相同高度的位置；支承构件，其支承上述推压构件，该支承构件具有上述上端；以及驱动机构，其为了使上述推压构件相对于上述被检查体进退而使上述支承构件移动。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，

各上述定位机构的上述驱动机构克服与上述定位机构相对的推动机构的推压力而维持上述推压构件在对应的推压构件的进退方向上的位置，并且这种维持能够被解除。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

各上述保护构件包括：基部，其安装在上述面板承接件上：以及延伸部，其从上述基部向上方延伸。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述多个保护构件以能够选择性地安装于在该保护构件离开的方向上隔开间隔的多个部位的适当部位上的方式配置在上述面板承接件上。

7.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述面板承接件还包括长尺构件，该长尺构件在上述多个保护构件离开的方向上延伸，

上述长尺构件具有在上述离开的方向上隔开间隔的多个螺纹孔，在该多个螺纹孔中选择性地螺合螺纹构件，该螺纹构件能够拆卸地螺纹固定上述多个保护构件。

8.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述探针块以能够后退成使上述触头的针尖位于与上述面板承接面侧相反的一侧的方式配置在上述面板承接件上，上述与上述面板承接面侧相反的一侧是以上述保护构件在与上述边的方向交叉的方向上的位置为基准来说的。

9.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

上述面板承接件包括共同形成矩形的开口的四个片构件，该四个片构件共同形成上述面板承接面，

各上述片构件与上述矩形的一条边对应，

各上述探针单元和各上述保护构件配置在相同的上述片构件上。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其中，

上述测试装置还包括台基座，

各上述片构件包括移动片，该移动片以能够改变上述开口的大小地沿X方向和Y方向能够移动的方式配置在上述台基座上，

上述移动片包括：第1片部，其与上述台基座平行地配置在该台基座上；以及第2片部，其从上述第1片部的上述面板承接面侧向上方立起，上述第2片部具有形成上述面板承接面的一部分的上表面；

上述探针单元和上述保护构件配置在上述第1片部上。

11.根据权利要求10所述的测试装置，其中，

相对的一对移动片在Y方向上隔开间隔并与X方向平行地延伸，相对的另外一对移动片在X方向上隔开间隔并与Y方向平行地延伸，

这四个移动片共同形成上述开口，并且共同形成上述面板承接面，还能够改变上述开口的大小地配置在上述台基座上，

邻接的移动片以互不妨碍对方沿Y方向或X方向独立地移动的方式结合在一起。