[发明专利]一种贴片式固体激光器、调整装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及固体激光器领域，更具体地说，是涉及一种贴片式固体激光器。同时，本发明还涉及一种调整装置以及贴片式固体激光器的制造方法。

背景技术

目前，固体激光器广泛应用于军事、工业、医学、商业、科研等诸多领域。而随着科技的进步，这些领域对激光器的性能要求也越来越高，具有高度的稳定性和良好的激光品质成为主要的需求。因此，更多种类的激光器应运而生。其中，激光二极管(Laser Diode，简称LD)泵浦固体激光器就是其中的一种。LD泵浦固体激光器，具有量子效率高、可靠性高、使用寿命长、发射波长与激光介质吸收峰容易对应、激光输出光束质量好等特点。其兼备了LD激光器和固体激光器的主要优点，并弥补了对方的某些缺点，使得LD泵浦固体激光器优于传统灯泵固体激光器以及LD激光器。

LD泵浦固体激光器的结构一般主要包括LD泵浦光源以及谐振腔，目前，较为常用的谐振腔多为平凹腔结构，根据谐振腔理论，互为谐振腔的腔镜在谐振点处的切平面平行，平凹腔为点谐振式，即凹面上只有一个点与平面镜谐振，这就导致平凹腔的调节费时费力。此外，在制造上述固体激光器的过程中，目前一般都是需要借助各种光学元件，通过手动调节的方式对腔内晶体和光学元件进行位置的调制，从而达到输出激光的目的。这种制造方法增加了制造的复杂度，影响生产效率，不能做到流水式快速生产，难以实现规模化生产，影响了LD泵浦固体激光器的进一步推广和使用。

发明内容

针对固体激光器的现有缺点，本发明提供了一种贴片式固体激光器，该种固体激光器具有体积较小、调节速率快等特点。同时，本发明还公开了上述贴片式固体激光器的调整装置以及制造方法。

本发明解决上述技术问题所采取的技术方案具体如下面所描述：

一种贴片式固体激光器，包括LD泵浦光源以及谐振腔体，所述LD泵浦光源是光纤整形压缩的LD泵浦光源，所述谐振腔体包括互相平行的入射部件和出射部件，所述入射部件和出射部件构成平平腔，并且，所述入射部件和出射部件都固定在同一激光器基板上。

所述入射部件和出射部件之间的平行度不大于2.5mrad。

所述入射部件为激光晶体，并且，所述激光晶体的入光面上镀有高反射膜，其出光面上镀有高透射膜。

所述出射部件为出光面上镀有高反射膜的倍频晶体或平面输出镜。

一种贴片式固体激光器的调整装置，用于调整所述的贴片式固体激光器，所述调整装置包括分光镜、参考面、成像系统以及显示系统，所述成像系统连接显示系统，并且，LD泵浦光源中发出的泵浦光进入所述分光镜后分成两束光，所述两束光分别进入到所述参考面和谐振腔体，经过所述参考面以及所述谐振腔体的反射后，又进入到所述成像系统之中。

在所述LD泵浦光源和所述分光镜之间还设置有准直扩束系统，经所述准直扩束后的光束的发散角不大于1.25mrad。

所述准直扩束系统包括聚焦透镜和准直透镜，所述聚焦透镜的后焦点与所述准直透镜的前焦点重合。

所述准直扩束系统和所述分光镜之间还设置有一个孔径光阑。

一种贴片式固体激光器的制造方法，用于制造所述贴片式固体激光器，包括下列步骤：

(a)根据预先设计的光路设置所述LD泵浦光源以及所述调整装置；

(b)将所述入射部件固定在所述激光器基板上；

(c)以所述入射部件的入光面作为基准面，校准所述参考面；

(d)将所述出射部件放置于所述激光器基板上；

(e)以所述参考面作为基准面，校准所述出射部件的出光面；

(f)将所述出射部件固定在激光器基板上。

步骤(c)中，进一步包括：(c1)调整所述参考面的方向；(c2)观察所述显示系统中的干涉条纹；(c3)当所述干涉条纹变成同心圆环的时候，固定所述参考面。

步骤(e)中，进一步包括：(e1)调整所述出射部件的方向；(e2)观察在显示系统中的干涉条纹；(e3)当所述干涉条纹变成同心圆环的时候，固定所述出射部件。

由于采用了上述技术方案，使得本发明与传统技术相比具有以下优点和积极效果：

第一，本发明提供的贴片式固体激光器克服了传统的点谐振式的平凹腔结构调节速率低的缺点，采用了面谐振式的平平腔结构，即成腔的两个面各处都谐振，减少了泵浦光与激光腔膜之间匹配的工艺程序，调节起来快速简单，大大提高了谐振腔的调节速率，并且，省去了泵浦聚焦系统和调节部件，缩小了器件尺寸，使得器件更便于生产和使用；