[发明专利]一种钨钛合金靶材结构的制作方法有效
| 申请号： | 201010526670.9 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN101956168A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 结构 制作方法 | ||
1.一种钨钛合金靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：
提供靶材，所述靶材为钨钛合金；
对所述靶材表面进行活化处理；
利用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；
将化学镀处理后的靶材焊接至背板。
2.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在对所述靶材表面进行活化处理之前还包括对所述靶材表面进行喷砂工艺的步骤。
3.根据权利要求2所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在对所述靶材表面进行喷砂工艺处理之前还包括抛光所述靶材表面的步骤。
4.根据权利要求3所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在对所述靶材表面抛光处理之后并且在对所述靶材表面进行喷砂工艺处理之前，对所述靶材表面喷砂工艺处理之后并且对所述靶材表面进行活化处理之前还包括用纯净水或去离子水清洗靶材表面的步骤。
5.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，对所述靶材表面进行活化处理时间为90秒～120秒。
6.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述化学镀的镀液的温度控制在86℃～90℃。
7.根据权利要求6所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述镀液的PH值为4.6～4.8。
8.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述金属镀层的厚度为8μm～10μm。
9.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述金属镀层的材料为镍。
10.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述背板具体是由铜、铝或者包括有铜和铝中任一种金属的合金所制成的。
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