[发明专利]一种扫描超声波显微镜自动对焦方法

权利要求书

1.一种扫描超声波显微镜自动对焦方法，其特征在于它的步骤如下：

1)扫描超声波显微镜开机后，超声波探头发射超声波；

2)根据对焦公式Z₃＝(C₂/C₃)(Z₂-l₂)计算出扫描超声波显微镜Z轴电机到达的位置，使Z轴电机运动至到达该位置后停止，其中C₂为超声波在耦合介质水中的折射率、C₃为试件中的折射率，Z₂为声束在耦合介质水中的焦斑位置，l₂为耦合介质水的厚度；

3)在扫描超声波显微镜计算机上显示的回波信号中，设置门以捕获所需扫描层面回波信号的峰值，设此峰值为V₀，并在寄存器中设置一个标志位flag，flag初始值为0；

4)使扫描超声波显微镜Z轴电机开始沿某一方向微量运动，然后再取所需扫描层面回波信号的峰值V₁，启动一个计数器k，初始值为1；

5)判断标志位flag是否为1，若为是，则自动对焦结束，若为否，则进入下一判断；

6)设V_k和V_k-1分别为扫描超声波显微镜Z轴电机第k次和第k-1次微量运动后捕获的所需扫描层面回波信号的峰值，继续判断V_k是否大于等于V_k-1，若为是，则扫描超声波显微镜Z轴电机继续沿原方向微量运动，若为否，则Z轴电机反向微量运动，再判断计数器k是否大于等于2，若为是，则标志位flag＝1；

7)计数器k加一，然后重复5)、6)步骤直至标志位flag＝1，自动对焦结束。