[发明专利]一种硅片切割工作台的连接装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种连接装置，特别涉及一种硅片切割工作台的连接装置，属于硅片加工设备技术领域。

背景技术

硅片加工过程中，要将硅片放在工作台上进行操作。传统的工作台包括立柱、台面，其中，所述立柱与台面通过连接装置固定成一体，所述连接装置包括连接构件、卡紧件、紧固件，所述连接构件两侧分别通过卡紧件及紧固件与立柱及台面连接成一体，但该结构的工作台，由于卡紧件与立柱及台面连接面均为平滑面，连接构件与立柱及台面的连接只通过紧固件的压紧力来实现，卡紧件容易从立柱上滑落，因此，该结构的连接装置连接不牢固，从而大大降低了工作台连接强度较低、使工作台安全性较差。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种连接强度好、结构简单的硅片切割工作台的连接装置，且大大提高了工作台连接牢固度。

为了解决上述技术问题，本发明一种硅片切割工作台的连接装置，包括连接构件、紧固件、卡紧件、设置在工作台立柱开口边两侧的若干凸齿；其中，所述卡紧件为一片状构件，所述卡紧件的外表面上设有若干卡齿；连接时，所述卡紧件的卡齿与所述立柱凸齿相啮合，所述紧固件穿过所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱，将所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱连接成一体。

上述一种硅片切割工作台的连接装置，其中，所述紧固件与所述连接构件之间设有一压簧，所述压簧两端分别抵在所述紧固件内端面及所述连接构件安装孔的台阶面上。

采用上述结构的连接装置，通过卡齿与凸齿连接时的啮合，形成工作时的锁紧力，可防止卡紧件滑动，使连接装置的连接更加牢固，从而提高了工作台的连接强度；另外，由于所述紧固件与连接构件之间设有压簧，当需要调节台面位置时，只需要将紧固件按下，克服压簧的弹力，将立柱上的凸齿与卡紧件上的卡齿松开，即可移动连接装置，到达适当位置时，再将紧固件拧紧即可，从而方便了工作台的调节。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图所示，为了解决上述技术问题，本发明一种硅片切割的作台的连接装置，括包括连接构件1、紧固件2、卡紧件3、设置在工作台立柱4开口边两侧的若干凸齿41；其中，所述卡紧件3为一片状构件，所述卡紧件3的外表面上设有若干卡齿31；连接时，所述卡紧件3的卡齿31与所述立柱4的凸齿41相啮合，所述紧固件2穿过所述卡紧件3、所述连接构件1及工作台的立柱4，将所述卡紧件3、所述连接构件1及工作台的立柱4连接成一体。

连接构件1为一L形整体构件，所述连接构件1两侧分别设有一用于安装紧固件2的安装孔11，安装孔11为一T形孔，所述安装孔11上部分为光孔，下部分为螺纹孔；由于该卡紧件3表面上设有卡齿31，连接时，该卡齿31与立柱1上的凸齿41啮合，形成工作时的锁紧力，使连接装置的连接更加牢固，从而大大提高了工作台连接强度。

为了使用方便，还可在所述紧固件2与所述连接构件1之间设有一压簧5，所述压簧5两端分别抵在所述紧固件2内端面及所述连接构件安装孔11的台阶面上。由于在紧固件2与连接构件1之间设置了压簧5，使用时，靠该压簧5的弹力可使的卡紧件3和紧固件2可放置任意需要放置的位置。当需要调节时，只需要轻轻按下紧固件2，克服压簧5的弹力，即可将连接构件1移动到需要的位置。位置调节好后，装上各种配件用螺钉压紧，即可。

综上所述，本发明具有连接强度好、安全系数高，安装方便、灵活且结构简单的优点。