[发明专利]一种离子源自动稳弧流的方法

权利要求书

1.一种离子源自动稳弧流的方法就是通过检测离子源弧压电源(4)负载电流——弧流的变化来控制影响阴极发射电子的灯丝电源(5)的负载电流——灯丝电流，实现弧流的自动稳定。

2.权力要求1所述的一种自动稳弧流的方法，其特征在于灯丝电源(5)和弧压电源(4)之间形成闭环控制，把设定的弧流值与检测到的当前值进行比较之后，它们的偏差值作为PID控制器的输入，通过PID控制算法得到一个输出值来控制灯丝电源(5)输出的灯丝电流。

3.权力要求1所述的一种自动稳弧流的方法，其特征在于当检测的实际弧压电源(4)的负载——弧流不在设定值范围内，通过PID控制器控制灯丝电源(5)的输出，直到弧流值稳定在设定的范围内。