[发明专利]一种晶片传递装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片传递的技术，具体是一种晶片传递装置，它是实现对晶片传递的机械手装置。

背景技术

众所周知，在半导体晶片加工过程中需要在各个工位之间对晶片进行传递。但随着晶片加工数量的不断提高，对晶片搬运装置的精度及复杂程度要求一再提高，更重要的是需要其满足大批量生产时的产能要求。

原来的晶片传递大多为单轴装置，而且占有空间较大。只能从事简单的晶片直线传递，当各个工位的高度、角度等发生变化时，调整起来比较麻烦。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶片传递装置，可解决传统的晶片传递装置传递效率低、传递速度慢等问题。

本发明的技术方案是：

一种晶片传递装置，该装置设有升降电机、升降减速器、传动带轮、丝杠、旋转电机、旋转减速器、连接块、手指、伸缩手臂，升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传动带轮I，传动带轮I与丝杠上的传动带轮II通过带传动；旋转电机的输出端设有旋转减速器，旋转减速器的输出端设有传动带轮III，传动带轮III与丝杠上的传动带轮IV通过带传动；传动带轮IV的输出端与连接块相连，连接块上安装有伸缩装置，伸缩装置的输出端设置伸缩手臂，伸缩手臂的前端安装有手指。

所述的晶片传递装置，丝杠上安装有与丝杠通过螺纹连接的螺母，旋转电机和与其连接的旋转减速器固定在与螺母相连接的基板上。

所述的晶片传递装置，基板上设有限位块，连接块上设有与限位块相对应的凸起，连接块的旋转角度范围限制在0°-350°之间。

所述的晶片传递装置，螺母两侧设置相配合的滑块、导轨，可沿导轨滑动的滑块设置于螺母上，导轨上部设有限位块。

所述的晶片传递装置，伸缩手臂采用两个，每个伸缩手臂的前端安装手指。

所述的晶片传递装置，每个伸缩手臂为两个、或两个以上活动臂铰接构成。

所述的晶片传递装置，伸缩手臂为大臂和前臂铰接而成，伸缩长度是其单臂的二倍，两臂的长度比为1∶1。

所述的晶片传递装置，伸缩手臂为大臂、中臂、前臂三部分依次铰接构成，伸缩长度为较短单臂的四倍，三臂的长度比大臂∶中臂∶前臂＝1∶2∶1。

所述的晶片传递装置，手指后面装有晶片扫描装置，晶片扫描装置由两个对射式传感器组成，其中一个传感器在发光端，另一个传感器在接收端。

本发明的有益效果是：

1、本发明设有升降电机、升降减速器、旋转电机、旋转减速器以及摆臂、手指等，分别组成了升降装置、旋转装置和伸缩装置，控制升降电机，并通过减速器、导轨丝杠、皮带轮等部件实现整个装置的升降功能。装载在升降装置上的旋转装置由旋转电机控制，传动部件为减速器、皮带轮等。伸缩装置的伸缩长度通过旋转电机的旋转角度、伸缩手臂的长度及伸缩手臂的层数决定，即旋转角度越大、伸缩手臂的长度越长、伸缩手臂的层数越多，则伸缩距离越大。从而，升降、旋转、伸缩同时联动，单位时间内完成三个方向的运动，从而迅速、准确的将晶片传递到预期位置。

2、本发明的伸缩装置的伸缩手臂采用两个、三个甚至更多个活动臂铰接构成，使伸缩手臂为多关节关联的结构。这样做的目的是最大限度的节省空间，即当手臂缩回时都集中于中央的一块区域，而伸出时行程则为各层手臂长度之和。

3、在装载晶片的片盒中，往往有多个晶片需要取放出。这样，就需要准确判断装载片盒的各槽中是否有晶片存在。本发明机械手上装有对射式晶片扫描装置，可以实现上述功能。

4、本发明旋转装置内包括自限位块，这样当机械手选装动作时，不会因为转过360°而将其内部信号线、电源线或真空管扭断。

附图说明

图1是本发明晶片传递装置的主视图。

图2是本发明晶片传递装置的侧视图。

图3a-b是本发明晶片传递装置的伸缩结构示意图。其中，图3a为伸缩手臂采用两个手臂；图3b为伸缩手臂采用三个手臂。

图4是本发明晶片传递装置的俯视图。

图中，1.升降电机；2.升降减速器；31.传动带轮I；32.传动带轮II；33.传动带轮III；34.传动带轮IV；4.丝杠；5.螺母；6.导轨；7.滑块；8.旋转电机；9.旋转减速器；10.基板；11.连接块；12.限位块；13.手指；14.伸缩手臂；15晶片扫描装置；16大臂；17前臂；18中臂。

具体实施方式