[发明专利]微机械结构和用于制造微机械结构的方法

权利要求书

1.微机械结构(1)，设有具有主延伸平面(100)的衬底(2)和可相对于该衬底(2)沿着平行于该主延伸平面(100)的第一方向(X)运动的振动质量(3)，其中，该微机械结构(1)具有与该衬底(2)连接的第一电极结构(4，4’)和与该衬底(2)连接的第二电极结构(5，5’)，其中，该振动质量(3)具有反电极结构(6)，其中，该反电极结构(6)的第三指形电极(60)沿着第一方向(X)设置在该第一电极结构(4，4’)的第一指形电极(40，40’)与该第二电极结构(5，5’)的第二指形电极(50，50’)之间，其特征在于，该第一电极结构(4，4’)借助设置在该微机械结构(1)的中心区域(7)中的第一锚定元件(41，41’)固定在该衬底(2)上，该第二电极结构(5，5’)借助设置在该中心区域(7)中的第二锚定元件(51，51’)锚定在该衬底(2)上。

2.根据权利要求1的微机械结构(1)，其特征在于，所述振动质量(3)与设置在所述中心区域(7)中的第三锚定区域(61)耦接，其中，所述振动质量(3)与所述第三锚定区域(61)优选通过弹簧元件(8)弹簧弹性地耦接。

3.根据以上权利要求之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一电极结构(4，4’)具有第一连接区域(42)，所述第一连接区域(42)垂直于所述主延伸平面(100)至少部分地设置在所述第二电极结构(5，5’)与所述衬底(2)之间，尤其设置在所述第二指形电极(50，50’)与所述衬底(2)之间。

4.根据以上权利要求之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一指形电极(40，40’)借助所述第一连接区域(42)固定在所述第一锚定元件(41，41’)上。

5.根据以上权利要求之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述第二电极结构(5，5’)具有第二连接区域(52)，所述第二连接区域(52)垂直于所述主延伸平面(100)至少部分地设置在所述第一电极结构(4，4’)与所述衬底(2)之间，尤其设置在所述第一指形电极(40，40’)与所述衬底(2)之间。

6.根据以上权利要求之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述第二指形电极(50，50’)借助所述第二连接区域(52)固定在所述第二锚定元件(51，51’)上。

7.根据以上权利要求之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一连接区域(42)垂直于所述主延伸平面(100)比所述第一指形电极(40，40’)更薄和/或所述第二连接区域(52)垂直于所述主延伸平面(100)比所述第二指形电极(50，50’)更薄。

8.用于制造根据以上权利要求之一的微机械结构(1)的方法，其特征在于，在第一制造步骤中提供所述衬底(2)，在第二制造步骤中制造所述第一锚定元件(41，41’)和所述第二锚定元件(51，51’)，在第三制造步骤中制造所述第一电极结构(4，4’)的第一连接区域(42)和/或所述第二电极结构(5，5’)的第二连接区域(52)，在第四制造步骤中制造所述第一电极结构(4，4’)的所述第一指形电极(40，40’)和所述第二电极结构(5，5’)的所述第二指形电极(50，50’)，其中，所述第一连接区域(42)与所述第一指形电极(40，40’)连接和/或所述第二连接区域(52)与所述第二指形电极(50，50’)连接。

9.根据权利要求8的方法，其特征在于，在所述第二制造步骤中还制造第三锚定元件(61)，在所述第四制造步骤中还制造所述振动质量(3)，其中，所述振动质量(3)借助弹簧元件(8)与所述第三锚定元件(61)耦接。

10.根据权利要求8或9的方法，其特征在于，在所述第一制造步骤与所述第三制造步骤之间在所述衬底(2)上沉积和结构化出第一消耗层，在所述第三制造步骤与所述第四制造步骤之间在所述第一连接区域(42)和/或所述第二连接区域(52)上沉积和结构化出第二消耗层，其中，在第五制造步骤中对所述第一消耗层和/或所述第二消耗层进行蚀刻。