[发明专利]一种测量干涉仪波长的装置及方法

权利要求书

1.一种测量工件台干涉仪波长的装置，包括：

第一干涉仪及第二干涉仪，该第一、第二干涉仪分别位于该工件台的相对两侧，该第一干涉仪所发出的第一测量光束与该第二干涉仪所发出的第二测量光束组成一波长测量轴，该第一、第二干涉仪分别获得该第一、第二测量光束的第一光程及第二光程，该第一、第二干涉仪测量该第一、第二测量光束的光波相对于一测量周期初始时刻的周期变化数；以及

计算模块，用以依据该第一、第二干涉仪获得的第一光程及第二光程计算该波长测量轴的理论长度，并依据该波长测量轴的理论长度、该工件台的运动参数计算该波长测量轴的实际长度，以及依据该波长测量轴的实际长度、该第一、第二测量光束的光波相对于该测量周期初始时刻的周期变化数，以及该测量周期初始时刻的该第一、第二测量光束的初始波长计算该第一、第二测量光束的实际波长。

2.如权利要求1所述的测量干涉仪波长的装置，其特征在于，该工件台的运动参数包括：该工件台的旋转角度及/或该工件台的倾斜角度。

3.如权利要求1所述的测量干涉仪波长的装置，其特征在于，该第一测量光束束与第二测量光束位于同一直线上。

4.一种测量工件台干涉仪波长的方法，包括：

利用位于该工件台相对两侧的第一干涉仪与第二干涉仪分别获得该第一、第二干涉仪分别发出的第一、第二测量光束的第一光程及第二光程，该第一测量光束与第二测量光束组成一波长测量轴；

利用该第一、第二干涉仪测量该第一、第二测量光束的光波相对于一测量周期初始时刻的周期变化数；

依据该第一光程及第二光程计算该波长测量轴的理论长度；

依据该波长测量轴的理论长度、该工件台的运动参数计算该波长测量轴的实际长度；以及

依据该波长测量轴的实际长度、该第一、第二测量光束的光波相对于初始时刻的周期变化数，以及该测量周期初始时刻的该第一、第二测量光束的初始波长计算该第一、第二测量光束的实际波长。

5.如权利要求4所述的测量干涉仪波长的方法，其特征在于，该第一测量光束与第二测量光束位于同一直线上。

6.如权利要求4所述的测量工件台干涉仪波长的方法，其特征在于，该测量周期初始时刻的该第一、第二测量光束的初始波长是透过以下方法获得：

利用一定位装置进行两个标记对准时，该第一、第二干涉仪测量该第一、第二测量光沿该波长测量轴方向的平均变化周期；以及

依据该两个标记在该波长测量轴方向上的相隔距离及该第一、第二测量光束沿该波长测量轴方向的平均变化周期计算该第一、第二测量光束的初始波长。

7.如权利要求6所述的工件台测量干涉仪波长的方法，其特征在于，该定位装置是对准系统或霍尔传感器。