[发明专利]曝光装置、曝光方法及组件制造方法

权利要求书

1.一种用能量束使物体曝光的曝光装置，其特征在于具备：

移动体，保持上述物体，并可在规定平面内、在第1及第2方向移动，且于与上述平面大致平行的一面设有周期性地排列格子的格子部；

标记检测系统，检测上述物体上的标记；以及

测量装置，具有编码器，上述编码器具有在与上述格子排列方向交叉的方向位置不同的多个读取头，在进行上述标记的检测动作时，通过与上述格子部对向的读取头来测量上述移动体的位置信息。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：

上述格子部，其格子在不同方向分别周期性地排列；

上述标记检测系统，具有在上述第2方向位置不同的多个检测区域。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：

上述多个读取头，包含在上述第2方向夹着上述多个检测区域所配置的一对读取头。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于还具备：

在一面设有基准构件的与上述移动体不同的另一移动体，上述基准构件具有在上述第2方向上分离配置的一对基准格子、以及配置在上述一对基准格子之间的多个基准标记；

由上述一对读取头进行的对上述一对基准格子的检测、以及由上述标记检测系统进行的对上述多个基准标记的检测可同时执行。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于：

通过上述标记检测系统对上述多个基准标记的检测，进行相对于上述多个检测区域的一个检测区域的其它检测区域的相对位置测量。

6.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于：

上述基准构件动态支撑于上述另一移动体。

7.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于：

在利用上述能量束进行上述物体的曝光动作时，通过上述编码器测量上述移动体的位置信息。

8.根据权利要求7所述的曝光装置，其特征在于：

上述多个读取头，包含在上述第2方向夹着上述能量束的照射位置所配置的读取头。

9.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：

上述标记检测系统，其多个检测区域的相对位置可在至少上述第2方向改变。

10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于：

上述标记检测系统具有奇数个上述检测区域，上述奇数个检测区域中的、除了在上述第2方向中央所配置的检测区域以外的至少一个可在上述第2方向上移动。

11.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于还具备：

位置调整装置，使上述标记检测系统的一部分移动，调整上述多个检测区域的至少一个的位置。

12.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：

上述测量装置包含测量上述移动体的位置信息的干涉仪；

所述曝光装置还具备：

控制装置，通过上述编码器与上述干涉仪的一方或两方，来控制上述移动体的移动。

13.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于还具备：

光学系统，射出上述能量束；

与上述移动体不同的另一移动体；以及

液浸系统，将液体供应至上述光学系统的下方近处，以形成液浸区域，

上述液浸区域通过上述移动体与上述另一移动体的移动一边被维持于上述光学系统的下方近处、一边从上述移动体与上述另一移动体的一方移动至另一方。

14.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于还具备：

控制装置，使上述移动体在上述第1方向移动，针对上述每个群，利用上述标记检测系统检测在上述物体上、在上述第1方向位置不同的多个群标记，上述多个群标记中至少一群的标记，包含在上述第2方向位置不同的多个标记。

15.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：

由上述多个标记检测系统进行的标记的同时测量，一边同时改变对上述物体上的多个标记的聚焦状态，一边进行多次。