[发明专利]曝光装置、曝光方法及组件制造方法

权利要求书

1.一种用能量束使保持在移动体的物体曝光的曝光装置，所述移动体可在规定平面内彼此正交的第1及第2方向移动，所述曝光装置的特征在于具备：

标记检测系统，具有在上述第2方向位置不同的多个检测区域；以及

基准构件，形成有可由上述标记检测系统同时检测的多个基准标记，且可夹着上述能量束的照射位置，在上述第1方向上从上述多个检测区域的相反侧移动至上述多个检测区域的位置。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：

上述基准构件，安装在上述移动体或能与上述移动体独立地移动的另一移动体。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于还具备：

具有测量上述移动体的位置信息的编码器的测量装置；

在上述能量束对上述物体的曝光动作中、以及上述标记检测系统对上述标记的检测动作中，通过上述编码器测量上述移动体的位置信息。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于：

在上述移动体的移动中，用于上述测量的上述编码器的多个读取头，其至少一个切换至另一读取头。

5.一种用能量束使保持在移动体的物体曝光的曝光装置，所述移动体可在规定平面内彼此正交的第1及第2方向移动，所述曝光装置的特征在于具备：

多个标记检测系统，其包含：在上述第1方向上与射出上述能量束的光学系统分离设置、检测区域为固定的第1标记检测系统，以及检测区域的位置在至少上述第2方向可调整的至少一个第2标记检测系统，其检测区域的位置在上述第2方向上不同；

测量装置，测量上述移动体的位置信息；以及

控制装置，以上述第1、第2标记检测系统分别检测上述移动体上或保持于上述移动体的物体上的特定标记，根据上述第1及第2标记检测系统的检测结果与其检测时的上述测量装置的测量信息，执行求出上述第1、第2标记检测系统的相对位置的第1测量动作。

6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于还具备：

基准构件，形成有上述多个标记检测系统所检测的多个基准标记；

上述控制装置，以上述第1、第2标记检测系统分别检测上述基准构件的不同基准标记，并根据该检测结果，执行求出上述第1、第2标记检测系统的相对位置的第2测量动作。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其特征在于：

在上述第2测量动作中，上述不同基准标记，通过上述第1、第2标记检测系统同时检测。

8.根据权利要求7所述的曝光装置，其特征在于：

上述基准构件，设于上述移动体或能与上述移动体独立地移动的另一移动体；

上述控制装置，在上述第2测量动作中，使上述基准构件移动，通过上述第1标记检测系统检测上述基准构件上的既定基准标记，并根据其检测结果调整上述基准构件的位置，在该调整后的状态下通过上述第2标记检测系统检测位于其视野内的上述基准标记。

9.根据权利要求6所述的曝光装置，其特征在于：

上述控制装置，是以较上述第1测量动作短的时距执行上述第2测量动作。

10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于：

每在以批量单位连续处理上述物体时，上述控制装置，于各批量前头执行上述第1测量动作，并于每处理规定数目的物体时执行上述第2测量动作。

11.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于：

上述测量装置，具有在上述能量束对上述物体的曝光动作中、以及上述标记检测系统对上述标记的检测动作中，测量上述移动体的位置信息的编码器。

12.根据权利要求3或11所述的曝光装置，其特征在于：

在上述移动体的移动中，用于上述测量的上述编码器的多个读取头，其至少一个切换至另一读取头。

13.根据权利要求3或11所述的曝光装置，其特征在于：

上述编码器具有读取头部与周期性地排列格子的格子部；

上述曝光装置还具备：

修正装置，修正因上述格子部产生的上述编码器的测量误差。

14.根据权利要求13所述的曝光装置，其特征在于：

上述修正装置，修正因上述格子部的变形产生的测量误差。