[发明专利]腔系列

说明书

技术领域

本发明涉及一种成膜装置等的具备多个腔的腔系列(chamber line)，尤其涉及一种为了清扫或维护等能够开闭装配在腔的盖部的腔系列。

背景技术

在离子镀装置或蒸镀装置等成膜装置(参照专利文献1)中，具备由邻接排列的多个腔构筑的腔系列。在这种腔系列中，基板通过作为真空腔的成膜室时，对该基板施以预定的成膜处理(参照专利文献1)。为了去除成膜处理带来的蒸镀物质的附着或污垢，有必要定期清扫成膜室内，并且，也有必要适当地保养其他腔。为此，在腔的顶棚部分形成有保养用开口，通常，封闭该开口的顶盖通过铰链部连结在主体部分上。顶盖为重达500Kg以上的重物，因此在各腔设有用于吊起顶盖而开放腔，且保持已开放的腔的开关装置。

专利文献1：日本特开2006-299358号公报

然而，在从前的腔系列中，在多个腔中分别需要顶盖的开关装置，设备复杂且易大型化，并容易引起设备成本增大。

发明内容

本发明以解决以上课题为目的，其目的在于提供一种容易简单地构筑用于开关盖部的设备并对降低成本也有效的腔系列。

本发明的特征在于，在邻接排列多个具有盖部的腔的腔系列中，具备：轨道部，沿着腔的排列方向配置；和开关机构，沿着轨道部移动自如，且使被设置在腔上的盖部升降而可以开关腔。

根据本发明，开关机构沿着轨道部移动自如，该轨道部沿着多个腔的排列方向配置。从而，使一个腔的盖部升降而开关腔，甚至移动至其他腔使其他腔的盖部升降而也可开关其他腔。其结果，能够至少用1个开关机构使多个腔开关，无需分别在多个腔设置开关装置而变得容易简单地构筑设备且对降低成本也有效。

另外，优选盖部能够从腔脱离。通过与从腔脱离的盖部一同移动开关机构，可在被除掉盖部的腔的上方确保宽敞且安全的操作区域。

另外，优选在盖部设有堆积并保持其他盖部的保持部。通过开关机构从腔脱离的盖部因为例如可临时堆积放置在旁边的盖部上，所以开关机构不用始终保持着盖部，且能够同时开放多个盖部。

另外，优选开关机构具有一端能够结合在盖部的滚子链、挂绕滚子链的链轮和旋转驱动链轮的驱动部，且滚子链的另一端被结合在链轮。因滚子链的另一端被结合在链轮上，所以滚子链伴随链轮的旋转被可靠地卷起，其结果能够进行盖部的可靠上升。另外，根据上述结构，能够在升降行程较短时应用，因此对设备的紧凑化有利。

发明效果：

根据本发明，其目的在于提供一种设备的简单化容易且对降低成本也有效的腔系列。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的成膜装置的侧视图。

图2是本实施方式所涉及的顶板变换器的俯视图。

图3是沿图2的III-III线的剖面图。

图4是沿图2的IV-IV线的剖面图。

图5是扩大成膜装置的一部分而表示的侧视图。

图6是顶板的立体图。

图中：1-成膜装置(腔系列)，4A～4E-腔，9-顶板，9c-顶板支承支柱(保持部)，11、12-轨道(轨道部)，13-顶板变换器(开关机构)，21b-驱动电动机(驱动部)，25-升降链轮，27-滚子链，27a-上端部(一端)，27b-下端部(另一端)，D-排列方向。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明所涉及的电流导入构造的优选实施方式进行说明。在本实施方式中，以构成腔系列的成膜装置1作为例子进行说明。

如图1所示，成膜装置1为根据各种蒸镀法在基板上成膜的装置，其采用俗称一列式的搬送方式。成膜装置1具备设置在台架3上的多个腔4A～4E，在各腔4A～4E内设有沿着预定路径搬送载体的驱动机构。载体是指包含托盘及基板的搬送体。

多个腔4A～4E的作用各不相同，从载体所通过的路径的上游侧依次设有装载锁腔4A、前段缓冲腔4B、成膜腔4C、后段缓冲腔4D和卸载腔4E。各腔4A～4E分别根据可以开关的真空闸阀5而划分。

装载锁腔4A及前段缓冲腔4B接收基板依次减压。另外，在装载锁腔4A及前段缓冲腔4B中，将正在搬送的基板加热至预定温度。加热至预定温度的基板被搬入到成膜腔4C。

成膜腔4C由相互连通的3个真空腔构成，成膜腔4C内保持成高温气氛。在中央的真空腔的底部设有基于各种蒸镀法的蒸镀装置，且通过蒸镀粒子进行基板的成膜。

成膜后的基板被排出至后段缓冲腔4D。在后段缓冲腔4D设置有水冷板，基板在后段缓冲腔4D内通过辐射慢慢冷却。之后，基板在调压之后经过卸载腔4E并搬出至成膜装置1外。