[发明专利]一种三氯氢硅的精馏方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：将包含三氯氢硅的粗合成液送入预塔进行精馏，通过预塔分离脱去原料中的大部分轻杂质组分；经预塔除杂后的液体经塔底排出进入三氯氢硅精馏塔，塔顶得到三氯氢硅产品，塔釜的物料进入四氯化硅精馏塔，四氯化硅精馏塔塔顶蒸出产品四氯化硅。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：所述的预塔为导向筛板塔，塔板数为22~26块，塔顶压强为60~70KPa，塔顶温度为40~50℃，回流比为0.1~0.3。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：在预塔塔顶设有两级冷凝器，一级冷凝器管程通入温度为5~7℃，压力为400~500 Kpa的冷冻水，二级冷凝器管程通入温度为-25~-30℃，压力为400~500 Kpa的冷冻盐水。

4.根据权利要求1或2所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：所述的三氯氢硅精馏塔为导向筛板塔，塔板数为38~42块，塔顶压强为180~200KPa，塔顶温度为60~70℃，回流比为10~14。

5.根据权利要求4所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：在三氯氢硅精馏塔塔顶设有两级冷凝器，一级冷凝器管程通入温度为20~25℃，压力为400~500 Kpa的工业用水，二级冷凝器管程通入温度为5~7℃，压力为400~500 Kpa的冷冻水。

6.根据权利要求1或5所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：所述的四氯化硅精馏塔为导向筛板塔，塔板数为38~42块，塔顶压强为200~230KPa，塔顶温度为80~90℃，回流比为8~12。

 7. 根据权利要求6所述的三氯氢硅的精馏方法，其特征在于：在四氯化硅精馏塔塔顶设有两级冷凝器，一级冷凝器管程通入温度为20~25℃，压力为400~500 Kpa的工业用水，二级冷凝器管程通入温度为5~7℃，压力为400~500 Kpa的冷冻水。