[发明专利]一种太阳能电池用减反射材料及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池用减反射材料，其特征在于该减反射材料为氧化铒-氧化铝（Er₂O₃-Al₂O₃）复合材料，其中Al₂O₃的含量为20～30%。

2.如权利要求1所述的太阳能电池用减反射材料，其特征在于该减反射材料是稳定的非晶复合氧化物材料。

3.如权利要求1所述的太阳能电池用减反射材料的制备方法，其特征在于该方法包括如下步骤： 

（1）、将Er₂O₃与Al₂O₃按比例混合制成陶瓷靶材； 

（2）、硅片生长前先用去离子水超声清洗10min，再用浓度为1%的HF酸腐蚀30s以去除Si(100)衬底的表面自然氧化层，将清洗好的Si(100)衬底送进生长室；

（3）、用磁控溅射的方法将步骤（1）所得的陶瓷靶材置于步骤（2）所得的P型Si(100)衬底上以制备Er₂O₃与Al₂O₃复合氧化物薄膜，衬底的电阻率为2～10Ωcm，射频功率为40W，溅射气体为Ar和O₂，氧分压比P=P(O₂)/((P(O₂)+P(Ar))为1%，工作气压为1.0Pa，生长完成后得到Er₂O₃与Al₂O₃复合氧化物薄膜；

（4）、将步骤（3）所得的Er₂O₃与Al₂O₃复合氧化物薄膜经900℃氧气退火处理，即得本发明的太阳能电池用减反射材料。