[发明专利]一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法无效
| 申请号： | 201010296023.3 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102021523A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 武瑞军 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 解决 镀膜 玻璃 边缘 效应 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法，其利用磁控溅射的方法将靶材原子沉积在玻璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的溅射通道上布有惰性气体，其特征在于：在玻璃的下方布有减缓溅射的工艺气体。
2.根据权利要求1所述的一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法，其特征在于：所述的惰性气体为氩气。
3.根据权利要求1所述的一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法，其特征在于：所述的减缓溅射的工艺气体为氧气或者氮气。
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