[发明专利]化学增幅型高分辨率含硅I-线紫外光刻胶及其成膜树脂

权利要求书

1.一种含硅共聚物成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，溶剂中进行共聚合反应制备而成，其特征在于：所述成膜树脂的分子量为4000～100000，分子量分布为1.4～2.8；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：

取代苯乙烯                  40％～90％；

含硅丙烯酸酯类偶联剂        0.5％～20％；

含酸敏基团单体              5％～60％；

所述取代苯乙烯是符合化学通式(I)的至少一种化合物：

式中，R₁是H、乙酰基或者丙酰基；m＝1或2；

所述含硅丙烯酸酯类偶联剂的化学通式如(II)式所示：

式中：R₂是H或CH₃；R₃是碳原子数为1～20的烷基；R₄是碳原子数为1～20的烷基；R₅是OH、碳原子数为1～20的烷基或碳原子数为1～20的烷氧基；n＝1～8；

所述含酸敏基团单体是符合化学通式(III)式和(IV)中的至少一种化合物：

式中：R₆是H、CH₃或CF₃；R₇是

或者其中，R_x是甲基或乙基；

式中：R₈是：或者其中R_y是甲基或乙基。

2.根据权利要求1所述的含硅共聚物成膜树脂，其特征在于：所述共聚单体中还包含质量百分含量为1％～40％的符合化学通式(V)和(VI)中的至少一种化合物；

式中：R_w是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基；R_z是H、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、或者HO(CH₂)₂O-；

式中：R₉是H或CH₃，R₁₀是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的羟基烷基。

3.根据权利要求1所述的含硅共聚物成膜树脂，其特征在于：所述取代苯乙烯是对羟基苯乙烯、对乙酰氧基苯乙烯、间羟基苯乙稀、间乙酰氧基苯乙烯、3，4-二羟基苯乙烯、3，4-二乙酰氧基苯乙烯、3，5-二羟基苯乙烯和3，5-二乙酰氧基苯乙烯中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的含硅共聚物成膜树脂，其特征在于：所述符合化学通式(III)式化合物是丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸叔戊酯、甲基丙烯酸叔戊酯、丙烯酸-1-甲基环戊酯、甲基丙烯酸-1-甲基环戊酯、丙烯酸-1-甲基环己酯、甲基丙烯酸-1-甲基环己酯、丙烯酸-1-乙基环戊酯、甲基丙烯酸-1-乙基环戊酯、丙烯酸-1-乙基环己酯、甲基丙烯酸-1-乙基环己酯、丙烯酸-2-甲基金刚烷醇酯、甲基丙烯酸-2-甲基金刚烷醇酯、丙烯酸-2-乙基金刚烷醇酯、甲基丙烯酸-2-乙基金刚烷醇酯、丙烯酸-2-丁内酯基酯、甲基丙烯酸-2-丁内酯基酯、丙烯酸-2-己内酯基酯或者甲基丙烯酸-2-己内酯基酯。

5.根据权利要求1所述的含硅共聚物成膜树脂，其特征在于：所述符合化学通式(IV)式化合物是对叔丁氧基苯乙烯、对叔戊氧基苯乙烯、对叔丁基碳酸酯苯乙烯或者对1-乙氧异乙氧基苯乙烯。

6.根据权利要求2所述的含硅共聚物成膜树脂，其特征在于：所述符合化学通式(V)式化合物是苯乙烯、对叔丁基苯乙烯、对叔戊基苯乙烯、对乙氧基苯乙烯、3，5-二甲氧基苯乙烯、3，5-二乙氧基苯乙烯、对苯氧基苯乙烯或者对2-羟乙氧基苯乙烯。