[发明专利]平面光波导与有源光器件的混合集成结构

权利要求书

1.一种平面光波导与有源光器件的混合集成结构，包括：一平面光波导(9)和至少一种有源光器件(1)，其特征在于，还设置有基片(7)、连接片(2)和垫片(3)，所述的连接片(2)和平面光波导(9)均设置在基片(7)上，所述的连接片(2)位于平面光波导(9)的出光侧，并且在连接片(2)正对平面光波导(9)出光侧的一面为一斜面(8)，所述的垫片(3)设置于平面光波导(9)的上面，所述的垫片(3)的上平面与连接片(2)的上平面处于同一水平面上，所述的有源光器件(1)水平的设置在连接片(2)和垫片(3)之上，所述的有源光器件(1)的受光面或发光面正对连接片(2)的反射斜面。

2.根据权利要求1所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述连接片(2)的斜面(8)与底面的夹角为45°±5°，所述连接片(2)的斜面(8)的底边与平面光波导(9)出光侧的边缘之间的水平距离小于50微米。

3.根据权利要求1所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的连接片(2)的斜面(8)镀有一层对信号光有高反射作用的膜层，所述的膜层是多层介质膜或是采用溅射的方式镀上的一层金属膜。

4.根据权利要求1所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的基片(7)和连接片(2)采用玻璃或硅或陶瓷材料，基片表面为光滑和平整的平面。

5.根据权利要求1所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的连接片(2)和平面光波导(9)均粘接在基片(7)上。

6.一种平面光波导与有源光器件的混合集成结构，包括：一平面光波导(9)和至少一种有源光器件(1)，其特征在于，还设置有基片(10)和连接片(2)，所述的基片(10)是由高低两部分一体形成阶梯结构，所述的平面光波导(9)设置在基片(10)的高端部分上，所述的连接片(2)设置在基片(10)的低端部分上，所述基片(10)高端部分的高度为使位于该高端部分上的平面光波导(9)的上平面与位于基片(10)低端部分上的连接片(2)的上平面处于同一水平面上，并且，所述的连接片(2)位于平面光波导(9)的出光侧，并且在连接片(2)正对平面光波导(9)出光侧的一面为一斜面(8)，所述的有源光器件(1)水平的设置在连接片(2)和平面光波导(9)之上，所述的有源光器件(1)的受光面或发光面正对连接片(2)的反射斜面。

7.根据权利要求7所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述连接片(2)的斜面(8)与底面的夹角为45°±5°，所述连接片(2)的斜面(8)的底边与平面光波导(9)出光侧的边缘之间的水平距离小于50微米。

8.根据权利要求7所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的连接片(2)的斜面(8)镀有一层对信号光有高反射作用的膜层，所述的膜层是多层介质膜或是采用溅射的方式镀上的一层金属膜。

9.根据权利要求7所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的基片(10)和连接片(2)采用玻璃或硅或陶瓷材料，基片表面为光滑和平整的平面。

10.根据权利要求7所述的平面光波导与有源光器件的混合集成结构，其特征在于，所述的连接片(2)和平面光波导(9)均粘接在基片(10)上。