[发明专利]阵列测试装置无效
| 申请号： | 201010291871.5 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102117589A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朴廷喜 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G09G3/00 | 分类号： | G09G3/00;G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 张文;郭放 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列 测试 装置 | ||
1.一种阵列测试装置，包括：测试单元，所述测试单元测试基板的缺陷；基板输送单元，所述基板输送单元向所述测试单元输送所述基板；以及探针组件，所述探针组件将电信号施加至形成在所述基板上的电极，
其中，所述探针组件包括：
探针组件框架，所述探针组件框架设置为能够沿所述基板的输送方向移动；以及
托架，所述托架以可拆卸的方式设置在所述探针组件框架上，所述托架具有探针头，所述探针头配备有将接触所述基板的所述电极的探针引脚。
2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括头升降单元，以上下升降所述探针引脚。
3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括框架升降单元，以上下升降所述探针组件框架。
4.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括托架升降单元，以上下升降所述托架。
5.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件框架包括：
一对第一框架条，所述一对第一框架条沿垂直于所述基板的输送方向的方向延伸；以及
一对第二框架条，所述一对第二框架条沿所述基板的输送方向延伸，所述第二框架条整体地联接至所述第一框架条。
6.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述托架包括：
一对第一托架条，所述一对第一托架条沿垂直于所述基板的输送方向的方向延伸；以及
一对第二托架条，所述一对第二托架条沿所述基板的输送方向延伸，所述第二托架条整体地联接至所述第一托架条。
7.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，在所述探针组件框架与所述托架之间的接合处设置有减震器。
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