[发明专利]具有可拆卸式进出气结构的成膜装置

权利要求书

1.一种具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，包含：

一炉体，包含横向贯穿该炉体的一成膜室，该成膜室包含一基板输入端以及一基板输出端，该成膜室的底部面积介于600mm×600mm至1600mm×1900mm之间；

一输送装置，包含贯穿该成膜室的一输送轨道；

一第一加热器，设置于该输送轨道下方；

一可拆卸式进出气结构，设置于该成膜室上方且面对该输送装置，该可拆卸式进出气结构包含：

一板体；

一第一锁固元件，围绕该板体，用以将该板体锁固于该炉体上；

一排气单元，设置于该板体的一端，且邻近该成膜室的该基板输出端；以及

一成膜原料供应单元，设置于该板体中相对于该排气单元的另一端，且邻近该成膜室的该基板输入端；

一第一连接元件，设置于该基板输入端，以连接至一第一工艺装置；以及

一第二连接元件，设置于该基板输出端，以连接至一第二工艺装置。

2.如权利要求1所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该输送装置包含：

可自由旋转的多个滚轮，所述滚轮的轮轴以一结合件相互连接，所述滚轮的滚轮直径介于45mm到65mm之间，辊距介于90mm至120mm之间，且所述滚轮的材料为含硅氧化物的陶瓷；

一输送轨道，绕设于所述滚轮；以及

一滚轮驱动装置，连接于所述滚轮其中之一的轮轴。

3.如权利要求1所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该可拆卸式进出气结构还包含一第二加热器，设置于该板体中，且位于该排气单元与该成膜原料供应单元之间。

4.如权利要求1所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该成膜原料供应单元包含：

一容室，侧面设有一原料供应孔；以及

至少一第一隔板，垂直设置于该容室中且位于该原料供应孔上，该第一隔板具有多个通孔。

5.如权利要求4所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该成膜原料供应单元还包含至少一第二隔板，垂直设置于该容室内且邻近该原料供应孔。

6.如权利要求2所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，还包含披覆三氧化二铝的布料，该布料设置于该滚轮上。

7.如权利要求2所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，所述滚轮的直径为55mm，辊距为100mm，且其为电铸石英辊。

8.一种具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，包含：

一炉体，包含横向贯穿该炉体的一成膜室，该成膜室具有一基板输入端以及一基板输出端；

一输送装置，包含贯穿该成膜室的一输送轨道，该输送装置包含：

多个可自由旋转的滚轮，所述滚轮的轮轴以一结合件相互连接，所述滚轮的滚轮直径介于45mm到65mm之间，辊距介于90mm至120mm之间，且所述滚轮材料为含硅氧化物的陶瓷；

一输送轨道，绕设于所述滚轮；以及

一滚轮驱动装置，与所述滚轮其中之一滚轮的轮轴结合，用以驱动所述滚轮的各轮轴转动；

一第一加热器，设置于该输送轨道下方；

一可拆卸式进出气结构，设置于该成膜室上方且面对该输送装置，该可拆卸式进出气结构包含：

一板体；

一排气单元，设置于该板体的一端，且邻近该成膜室的该基板输出端；以及

一成膜原料供应单元，设置于该板体中相对于该排气单元的另一端，且邻近该成膜室的该基板输入端。

9.如权利要求8所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该可拆卸式进出气结构还包含：

一第一锁固元件，围绕该板体，以将该板体锁固于该炉体上；

一第一连接元件，设置于该基板输入端，以连接至一第一工艺装置；以及

一第二连接元件，设置于该基板输出端，以连接至一第二工艺装置。

10.如权利要求8所述的具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，该成膜室的底部面积介于600mm×600mm至1600mm×1900mm之间。