[发明专利]一种多晶硅制绒工艺中废酸的再生方法及废酸再生系统

权利要求书

1.一种多晶硅制绒工艺中废酸的再生方法，包括：将废酸液与络合剂进行混合，得到混合液；然后将混合液通入扩散渗析器，所述扩散渗析器包括离子扩散膜及位于离子扩散膜两侧的第一通道和第二通道，所述混合液通入第一通道，并在第二通道中通入去离子水，混合液与去离子水的流向相反；第二通道流出的为回收酸液，第一通道流出的为分离液；其中，所述络合剂为可与硅形成络合物的有机络合剂。

2.根据权利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述络合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺、柠檬酸、磺基水杨酸、甘氨酸、乙酰丙酮、2-甲基-8-羟基喹啉、乙酸、草酸、乳酸、水杨酸、酒石酸、丁二酸、硫脲、吡啶中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述混合液在第一通道中的流速为170L/H-250L/H，去离子水在第二通道中的流速为160L/H-240L/H。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的再生方法，其特征在于，所述废酸液中含有氢离子、氟离子、硝酸根离子、六氟硅酸络合离子和水分子。

5.根据权利要求4所述的再生方法，其特征在于，所述废酸液中氟离子浓度为6.2 mol/l -6.8mol/l，硝酸根离子浓度为5.9 mol/l -6.5mol/l，按硅原子的量计，六氟硅酸络合离子浓度为0.48 mol/l -0.52mol/l。

6.根据权利要求5所述的再生方法，其特征在于，所述混合液中，络合剂与硅原子的摩尔比为1:1-6:1。

7.根据权利要求1、2、3、5、6中任意一项所述的再生方法，其特征在于，在将混合液通入第一通道之前还包括将混合液过滤。

8.一种废酸再生系统，包括用于盛放废酸液的废酸储罐、用于盛放络合剂的络合剂储罐及扩散渗析器，所述扩散渗析器包括离子扩散膜及位于离子扩散膜两侧的第一通道和第二通道；所述废酸储罐和络合剂储罐连通并延伸至第一通道的入口，第一通道的出口连通至分离液储罐，所述第二通道的入口连通至去离子水源，第二通道的出口连通至回收酸液储罐；其中，所述络合剂为可与硅形成络合物的有机络合剂。

9.根据权利要求8所述的废酸再生系统，其特征在于，所述络合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺、柠檬酸、磺基水杨酸、甘氨酸、乙酰丙酮、2-甲基-8-羟基喹啉、乙酸、草酸、乳酸、水杨酸、酒石酸、丁二酸、硫脲、吡啶中的一种或多种。

10.根据权利要求8或9所述的废酸再生系统，其特征在于，所述废酸储罐连通至一废酸管，络合剂储罐连通至一络合剂管，废酸管与络合剂管连通并共同延伸至第一通道的入口。

11.根据权利要求8所述的废酸再生系统，其特征在于，所述废酸再生系统还包括过滤器，所述废酸储罐和络合剂储罐共同连通至过滤器，并通过过滤器连通至第一通道的入口。

12.根据权利要求10所述的废酸再生系统，其特征在于，在所述过滤器与扩散渗析器之间还设置有废酸流量计；所述去离子水源连通至第二通道的入口的管道上设置有去离子水流量计。