[发明专利]一种用于仿真系统的内部互锁管理方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及计算机应用技术及半导体领域，特别涉及一种用于仿真系统的内部互锁管理方法及装置。

背景技术

随着集成电路芯片集成度的不断提升和芯片功能的不断提高，人们对工艺的要求越来越高。在半导体制造装备的研究、开发和测试工作中，包括硬件和软件的研发。开发软件中大部分是设备控制软件，这些软件在进行测试时，需要首先在仿真环境下进行验证，而单纯为某一个项目开发软件测试平台不仅耗时过大而且可重用性很差，为了提高软件测试的效率和准确定位系统所存在问题，迫切需要一个通用的软件测试平台系统。需要提供各项目使用的所有硬件的仿真程序，使开发出来的软件能在此基础之上运行，从而进行测试。

在半导体制造装备的研究、开发和测试工作中，仿真具有重要作用。一方面，由于生产过程控制本身的复杂性，对理论研究不断提出新的要求，而理论研究需提高设备的利用率。要借助于仿真工具；另一方面，面对各种系统控制软件包，需要现成的仿真平台，全面反映算法在实际生产运行中的效果，得到有指导意义的算法改进策略、参数在线调整方法等。仿真平台的使用，能够准确测试设备控制系统软件，可以减少控制系统软件执行与集成电路制造工艺过程的失败，能解决集成电路工艺设备的工艺稳定性，工艺可靠性，减少设备维修时间，最大程度的提高设备的利用率。

互锁是防止在状态机中出现不希望的状态的方法，这种方法可以是包含电子、电气或机械中的设备或系统。在多数应用中，互锁是当其被触发时，用于防止机器伤害其操作者或本身而停止机器动作的设备。

系统的互锁要素包括了：

1)互锁探测器：包括探测温度、压力、位置传感器。

2)互锁控制设备：包括控制设备各项参数的设备。

3)互锁逻辑设计：设备间的动作时序、设备间的逻辑关系设计。

在面向半导体制造装备的功能仿真时，一般都是采用了互锁的逻辑设计，包含了设备间的动作时序和逻辑关系设计，由于完全是软件层面上的内容，因此也就是不同设备之间所具有的复杂耦合关系极其行为动作的联系。为了实现逻辑清晰的互锁关系，需要有准确清晰的管理方法和可配置以及可扩展性能的子系统来支持。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一。特别提出了一种用于仿真系统的内部互锁管理方法，在仿真运行时完全模拟真实设备间互锁关系的功能，实现对仿真系统内部互锁关系的灵活配置和处理。

为达到上述目的，本发明一方面提出了一种用于仿真系统的内部互锁管理方法，包括如下步骤：

建立属性原型库，所述属性原型库包括所述仿真子系统和仿真设备的所有属性值，其中，仿真系统包括多个仿真子系统，所述仿真子系统进一步包括多个仿真设备；

根据所述属性原型库，配置所述仿真设备之间的互锁信息；和

将所述互锁信息发送给相应的仿真设备，所述仿真设备根据互锁信息执行相应的互锁动作。

根据本发明实施例的用于仿真系统的内部互锁管理方法，对仿真系统中仿真设备之间的互锁关系进行灵活配置，并且依据所配置的互锁关系，仿真设备仿真运行时完全模拟真实设备间互锁关系的功能。该方法相对现有的仿真系统的内部互锁管理方法，具有更强的有实时性、适应性强以及更好的仿真效果。

本发明另一方面提出了一种用于仿真系统的内部互锁管理装置，包括：

属性原型库，所述属性原型库包括所述仿真子系统和仿真设备的所有属性值，其中，所述仿真系统包括多个仿真子系统，所述仿真子系统进一步包括多个仿真设备；

配置模块，用于根据所述属性原型库配置所述仿真设备之间的互锁信息；和

执行模块，用于将来自所述配置模块的互锁信息发送给相应的仿真设备。

根据本发明实施例的用于仿真系统的内部互锁管理装置，对仿真系统中仿真设备之间的互锁关系进行灵活配置，并且依据所配置的互锁关系，仿真设备仿真运行时完全模拟真实设备间互锁关系的功能。该装置相对现有的仿真系统的内部互锁管理装置，具有更强的有实时性、适应性强以及更好的仿真效果。此外，本发明的内部互锁管理装置具有可扩展性，其可以与其他相关的子系统以及一个完整的功能仿真平台配合使用。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明实施例的用于仿真系统的内部互锁管理方法的流程图；

图2为根据本发明实施例的配置互锁条件及互锁触发命令的流程图；