[发明专利]制造平板显示器的设备和方法

权利要求书

1.一种平板显示器的制造设备，包括：

工作台，在该工作台上安放基板；

压印模具，与基板结合以在基板上形成薄膜图案，该压印模具包括凸起和凹槽；以及

温度调整部件，用以在所述压印模具与基板结合之前以与压印模具和基板之间的总尺寸偏差相等地补偿基板的总尺寸。

2.如权利要求1所述的制造设备，还包括：

测量部件，用以测量所述压印模具的总尺寸和基板的总尺寸；以及

控制器，用以控制该温度调整部件以补偿该基板的总尺寸。

3.如权利要求1所述的制造设备，其中当压印模具的总尺寸大于基板的总尺寸时，该温度调整部件提高安放于工作台上的基板的温度以增大基板的总尺寸，并且当压印模具的总尺寸小于基板的总尺寸时，该温度调整部件降低安放于工作台上的基板的温度以减小基板的总尺寸。

4.如权利要求3所述的制造设备，其中所述温度调整部件由用以提供热水或冷水的水管或者热线构成。

5.如权利要求1所述的制造设备，其中该基板的总尺寸在与该压印模具所在的压印室不同的辅助室内被补偿之后，该基板被转移到该压印室内。

6.一种平板显示器的制造方法，包括下列步骤：

在工作台上安放其上形成有液态聚合物前驱体的基板；

通过使用温度调整部件与压印模具和基板之间的总尺寸偏差相等地补偿基板的总尺寸，该压印模具包括凹槽和凸起；

使所述基板与压印模具对准；

压印模具和基板彼此结合；以及

压印模具和基板彼此分离。

7.如权利要求6所述的制造方法，还包括下列步骤：

测量所述压印模具的总尺寸和基板的总尺寸；以及

控制该温度调整部件以补偿该基板的总尺寸。

8.如权利要求6所述的制造方法，其中所述补偿基板的总尺寸的步骤在该压印模具的总尺寸大于基板的总尺寸时，提高安放于工作台上的基板的温度以增大基板的总尺寸，并且该步骤在压印模具的总尺寸小于基板的总尺寸时，降低安放于工作台上的基板的温度以减小基板的总尺寸。

9.如权利要求8所述的制造方法，其中该温度调整部件由用以提供热水或冷水的水管或者热线构成。

10.如权利要求6所述的制造方法，其中该基板的总尺寸在与该压印模具所在的压印室不同的辅助室内被补偿之后，该基板被转移到该压印室内。