[发明专利]放射线检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种放射线(诸如X射线、β射线、γ射线等)检测装置。更具体地说，本发明涉及一种适用于从料卷中拉出片状样品(下文中仅称为样品)并为样品增加功能的制造工序(诸如涂布、修边、表面改性、涂覆或干燥等)的放射线检测装置。

背景技术

在要测量诸如薄膜片材或电极片材等用于电池的高性能片材的膜厚的情况下，通常，测量成品的膜厚，并且根据需要将产品区分为良品和次品，然后将产品缠绕在成品卷上。此外，可以在装料刚完成时，或可以在每个增值工序期间，根据需要检测膜厚。

图9A和图9B示出现有技术放射线检测装置，其中，在通过将样品的传送高度保持在恒定位置(下文中，该位置被称为通过线)而使放射线源与样品之间的间隔保持恒定时执行厚度测量和缺陷检测，从而使恒定的放射线量透过样品。图9A为透视图，而图9B为剖视图。

在图9A和图9B中，缠绕在料卷2上并且待接受表面改性的样品1经历由涂布装置3实施的涂布工序，由干燥装置4实施的干燥工序，然后通过传送辊7(见图9B)的传送被卷取辊2a所卷取。

在所描述的实例中，放射线(例如X射线)源5设置在干燥装置4之后阶段的上方，从放射线源5发射出的放射线透过样品1，然后进入具有闪烁器的X射线线阵传感器(下文中仅称为线阵传感器)6中，该闪烁器形成为具有与样品1的宽度大致相等的宽度。线阵传感器6在整个宽度内检测样品1的厚度、缺陷等。

【专利文献1】JP-A-63-311079

【专利文献2】JP-A-11-349179

【专利文献3】JP-A-2004-284751

如图9A和图9B所示，放射线源5从点光源发射放射线，放射线透过样品1，从而被样品下方的线阵传感器6探测到。当样品1经过更接近放射线源5的位置(图9A和图9B所示的虚线U)时，每单位面积的照射线量更大，并且，当样品经过更远离于放射线源5的位置(图9A和图9B所示的虚线D)时，照射线量更小。

在图9A和图9B所示的构造中，看起来，当卷取辊2a与传送辊7之间的间隔大时，可能会因样品1的传送张力而导致样品1竖直地移动。在厚度测量中，存在样品1的移动对精确度造成影响的问题。

假设样品1与放射线源5之间的距离为400mm，样品的宽度(＝片材的宽度)为400mm，并且在上移量为5mm、下移量为5mm的范围内传送样品1。在该情况下，在样品1被稳定传送的恒定位置处的照射角度(全角)为53.13度，当样品位于上侧时照射角度为53.7度，而当样品位于下侧时照射角度为52.56度。

由于角度比等于照射线量比，所以当样品位于上侧时照射线量比达到+1.1％(增加1.1％)，当样品位于下侧时照射线量比达到-1.1％(减少1.1％)。在厚度测量中，与基于相对对比度的测定不同，X射线的透射率被转换为厚度。因此，测量的精确度包括上述±1.1％的误差。

由于样品1在摆动的情况下被传送，所以线阵传感器6必须设置为与样品1隔开(如B所表示，样品1的摆动宽度很大，因此，线阵传感器6必须如A所表示的那样与样品1隔开得足够远从而不会与样品1接触)。这样做会存在这样的问题：对于大气吸收较成问题的低能量放射线区域，测量灵敏度降低。一般来说，当将线阵传感器6设置得更近时，可以进一步减少温度、湿度以及大气压的影响。

发明内容

本发明的示例性实施例提供了一种检测装置，其中，减小了样品的竖直传送摆动，从而可以在保持放射线源5与样品1之间的间隔恒定的同时执行厚度测量和缺陷检测，因此使得恒定的放射线量透过样品，其结果是实现了高精确度的膜厚测量和缺陷检测。

(1)根据本发明示例性实施例的放射线检测装置，包括：

传送单元，其构造为传送片状样品；

放射线源，其构造为向所述片状样品发射放射线；

线阵传感器，其构造为测量所述片状样品的物理特性，所述线阵传感器设置为隔着所述片状样品与所述放射线源相对；以及

气体喷射单元，其构造为向所述片状样品喷射气体，以减小由所述片状样品的张力所产生的竖直传送摆动，所述气体喷射单元紧密靠近所述线阵传感器的至少一个侧面。

(2)在如第(1)项所述的放射线检测装置中，所述气体喷射单元包括喷射气体的多个喷嘴或孔，所述多个喷嘴或孔沿所述片状样品的宽度方向排列成多行。

(3)在如第(1)或第(2)项所述的放射线检测装置中，所述气体喷射单元包括屋檐状的流体引导件，所述流体引导件形成在气体喷射口上。