[发明专利]加热器用反射板

说明书

技术领域

本发明涉及一种反射从成为真空成膜装置等的加热源的加热器放射的红外线的加热器用反射板。

背景技术

例如，在直进式的成膜装置中具备有由真空腔构成的加热室，在加热室内设置有加热基板的加热器。在加热器的后面以围绕加热器的方式设置有反射板，朝向基板侧反射从加热器放射的热射线(红外线)。作为反射板通常使用研磨了的不锈钢板，并且，也公知有在反射板上使用金的技术(参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利2820605号公报

但是，在利用不锈钢板的反射板中，由于红外线的反射率低而吸收率高，因此不锈钢本身的温度上升，放射的热量不是朝向基板等的被加热物而是向相反一侧增加，难以有效地加热。并且，在作为反射板使用金时，会导致设备成本增大，难以谋求与设备成本均衡的反射率的提高，结果难以实现对被加热物的有效地加热。

发明内容

本发明以解决以上课题为目的，提供一种提高从加热器放射的红外线的反射率，并能够进行向被加热物的有效加热的加热器用反射板。

本发明的特征在于，在反射从加热器放射的红外线的加热器用反射板中，反射红外线的反射面由银和银合金的至少一方构成。银或银合金的红外线的反射率不用说不锈钢比金还高。通过设为由银和银合金的至少一方构成的反射面，能够实现红外线反射率高的反射板，并能够有效地加热被加热物。另外，由于银或银合金与金等相比为廉价，因此在抑制设备成本的这一点上有利。

另外，适合反射面由在金中添加了凝集抑制材料的银合金构成。因为银在高温中原子彼此凝集，所以存在红外线反射率性能下降的忧虑。因此，通过由在金中添加有凝集抑制材料的银合金形成反射面，能够实现即使在高温下也会不发生红外线反射率性能下降的加热器用反射板。

另外，若凝集抑制材料由Cu、W、Ta、Ru、P、Au、Pt、Cr以及Ni的至少一种构成，就可以期待高温下的凝集抑制效果，所以适合尤其是Cu、Ru、P、Au、Pt或Ni时，可以期待高凝集抑制效果有利。

另外，适合在反射面上设置有可以透射红外线的保护膜。通过设置保护膜，抑制反射面的氧化及硫化而能够防止红外线反射率性能的下降。

另外，若保护膜由Si、SiN、SiO₂、ITO、A1₂O₃以及A1N的至少一种材料构成，则能够期待反射面的氧化及硫化的高抑制效果。

另外，适合反射面通过设置于基板上的反射层而形成，在基板与反射层之间设置有粘合反射层和基板的粘合层。通过设置粘合层可以在基板上稳定地保持反射层。

另外，若粘合层由Cr、Ni、NiCr、W、NiW及Ti的至少一种材料构成，则能够期待反射层与基板的高粘合效果，所以适合尤其是反射层由银合金构成的情况下，若使与反射层的粘合性优先，则Cr、NiCr、NiW或Ti有利；若使与基板的粘合性优先，则NiCr或Ti有利。

发明效果

根据本发明，可以提高从加热器放射的红外线的反射率，并可以进行向被加热物有效加热。

附图说明

图1是示意表示本发明的实施方式所涉及的加热器和反射板的剖视图。

图2是沿图1的II-II线的放大剖视图。

图中：9-灯加热器，19a-反射面，11-反射板(加热器用反射板)，17-粘合层，21-保护膜。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明所涉及的加热器和加热器用反射板的适合的实施方式进行说明。

成膜装置1为在基板W(参照图1)通过各种蒸镀方法成膜的装置，采用一般被称为直进式的传送方式。如图1所示，成膜装置1具备有由真空腔构成的加热室3。在加热室3内设置有用于传送基板W的传送装置5，在加热室3的顶端部分设置有用于加热基板W的加热器单元7。

加热器3内利用加热器单元7保持于50℃～300℃左右的高温气氛。在加热室3的底部设置有根据各种蒸镀方法的蒸镀装置，并通过蒸镀粒子进行基板W的成膜。

加热器单元7具备有多个灯加热器9、保持多个灯加热器9的加热器框体10、及主要反射灯来自加热器9的红外线的反射板(加热器用反射板)11。