[发明专利]双效精馏提纯四氯化硅方法

权利要求书

1.双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于它包括以下步骤：

(1)前段工艺得到的粗四氯化硅先进入喷淋塔，喷淋塔为两段喷淋，喷淋塔塔顶冷凝器为分凝器，分凝器采出的气相为不凝气并且经分凝器冷凝得到的液相粗四氯化硅部分回流，部分作为出料进入脱轻塔；喷淋塔塔釜出料部分进入喷淋塔塔釜再沸器，部分采出，采出为固体杂质；

(2)所述的脱轻塔顶气相采出作为热源进入脱重塔塔釜冷凝再沸器，换热后成为液相的热源部分作为脱轻塔塔顶回流液回流，部分采出，采出为轻组分杂质；脱轻塔塔釜中的粗四氯化硅部分进入脱轻塔塔釜再沸器并且部分作为出料进入脱重塔；

(3)所述的脱重塔塔顶采出气相进入脱重塔塔顶冷凝器，所述的脱重塔塔顶冷凝器为全凝器，经全凝器冷凝得到的液相部分回流，部分以产品四氯化硅出料；脱重塔塔釜物料部分进入脱重塔塔釜冷凝再沸器并且部分采出，采出为重组分杂质。

2.根据权利要求1所述的双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于：所述的喷淋塔塔顶压力为常压，脱轻塔塔顶压力为200-800kPa，所述的脱重塔塔顶压力为常压，所述的脱轻塔塔釜温度低于脱重塔塔顶气相出料温度10℃以上。

3.根据权利要求2所述的双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于：所述的脱轻塔塔釜温度低于脱重塔塔顶气相出料温度20℃。

4.双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于它包括以下步骤：

(1)前段工艺得到的粗四氯化硅先进入喷淋塔，喷淋塔为两段喷淋，喷淋塔塔顶冷凝器为分凝器，分凝器采出气相为不凝气并且经分凝器冷凝得到的液相部分回流，部分粗四氯化硅作为出料进入脱轻塔，喷淋塔塔釜物料部分进入喷淋塔塔釜冷凝再沸器，部分采出，采出为固体杂质；

(2)脱轻塔塔顶采出气相进入脱轻塔塔顶冷凝器，所述的脱轻塔塔顶冷凝器为全凝器，经全凝器冷凝得到的液相部分回流，部分采出，采出液相为轻组分杂质，脱轻塔塔釜中的粗四氯化硅部分进入脱轻塔塔釜冷凝再沸器，部分作为出料，出料进入脱重塔；

(3)脱重塔塔顶气相采出作为热源，分两股分别进入喷淋塔塔釜冷凝再沸器和脱轻塔塔釜冷凝再沸器，进入喷淋塔塔釜冷凝再沸器换热后成为液相的热源全部作为脱重塔塔顶回流液回流，进入脱轻塔塔釜冷凝再沸器换热后的热源全部以产品四氯化硅出料；脱重塔塔釜物料部分进入脱重塔再沸器，部分采出，采出为重组分杂质。

5.根据权利要求4所述的双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于：所述的喷淋塔塔顶压力为常压，所述的脱轻塔塔顶压力为常压，所述的脱重塔塔顶压力为200-800kPa，所述的脱轻塔塔釜温度低于脱重塔塔顶气相出料温度10℃以上。

6.根据权利要求5所述的双效精馏提纯四氯化硅方法，其特征在于：所述的脱轻塔塔釜温度低于脱重塔塔顶气相出料温度20℃。