[发明专利]二维线间隔的正交角度提取方法

权利要求书

1.一种二维线间隔的正交角度提取方法，其特征在于包含如下步骤：

1)确定待测二维线间隔正交方向中纵向为待测方向；

2)将二维线间隔看成二维线间隔沿纵向的重复结构组成的一维线间隔；

3)使用测量设备以任意参考方向为基准，分别沿二维线间隔纵向多角度扫描法方向以很小偏转角度a1和a2获取线间隔的采样曲线，为二维线间隔纵向多次扫描曲线；

4)用傅立叶变换提取采样曲线的频率，计算线间隔在角度a1和a2上的长度l1和l2；

5)按照如下公式计算出的角度a就是步骤1线间隔待测正交方向的纵向与步骤3中所述

-参考方向的夹角，

a=arctan[l1×cos(a1)-l2×cos(a2)l1×sin(a1)-l2×sin(a2)]]]>

6)确定待测二维线间隔正交方向中横向为待测方向；

7)将二维线间隔看成二维线间隔沿横向的重复结构组成的一维线间隔；

8)使用测量设备以步骤3中参考方向为基准，分别沿二维线间隔横向多角度扫描法方向以很小偏转角度b1和b2获取线间隔的采样曲线，为二维线间隔横向多次扫描曲线；

9)用傅立叶变化提取采样曲线的频率，计算线间隔在角度b1和b2上的长度l3和l4；

10)按照如下公式计算出的角度b就是步骤1线间隔待测正交方向的横向与步骤8中所述参考方向的夹角，

b=arctan[l3×cos(b1)-l4×cos(b2)l3×sin(b1)-l4×sin(b2)]]]>

11)按照如下公式确定二维线间隔的正交方向夹角；

c＝|b-a|

12)确定了正交方向横向纵向分别与参考方向的夹角a和b，计算出正交方向夹角c，完成测量。