[发明专利]一种减少多线切割砂浆中气泡的方法

说明书

技术领域

本发明一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，属于改善多线切割砂浆性能的技术领域。

背景技术

现有的对多线切割砂浆性能的改进主要有添加分散剂、消泡剂或极压添加剂用以提高其切削性能，也有报道将超声波等分散技术用于多线切割砂浆的配置以提高其性能。所见报道都是针对多线切割砂浆在使用前的表观性能的改善，然而多线切割砂浆在配置过程中采用机械搅拌方式，碳化硅与切削液混合均匀后，里面还混有大量因搅拌而产生的气泡；多线切割砂浆在多线切割机中工作时也会因循环、搅拌等因素而混入大量空气，因为多线切割砂浆整体为固、液、气三相体系，气相与固、液两相差异过大，从而使整个多线切割砂浆体系多了一项不稳定因素，将直接影响其用于多线切割的性能。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，改善砂浆在切削过程中的性能。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，首先配置砂浆，然后把配置好砂浆用泵打入多线切割机的砂浆储罐内，开启机械搅拌，不间断的搅拌砂浆，在机械搅拌同时，开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，间断运行或连续运行。

所述的超声波发生器可以用兆声波发生器等效替换。

所述的间断运行具体操作过程是：开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，运行5～50min，停5～30min，再次运行5～50min，如此循环。

所述的超声波发生器为超声波棒，功率为2～4KW，超声波频率为20～80KHz。

所述的兆声波发生器的频率为850KHz～1000KHz。

本发明同现有技术相比具有的有益效果是：

本发明在多线切割砂浆配置完成之后，增加一步工艺，即在线实时去除多线切割砂浆中的气泡，这样对多线切割机中工作时的循环砂浆也做到了进一步处理，不但增加了砂浆有效使用量，而且确保了多线切割砂浆不会因循环使用而性能降低，即减少了气泡累积，使砂浆性能更加稳定，按本发明所述的方法改善多线切割砂浆，应用在多线切割机上，多线切割机的加工良品率为96％～98％，断线情况减少，加工成的硅片总厚度偏差≤20μm，翘曲度≤30μm。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明做进一步说明：

实施例1：一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，按下述步骤进行，按重量份配置：

第一步：配置砂浆，把1份切削液与1份碳化硅磨料放置在搅拌器中，用机械搅拌方式搅拌20小时，使切削液与碳化硅磨料混合均匀。

第二步：把上述配置好砂浆用泵打入多线切割机的砂浆储罐内，开启机械搅拌，不间断的搅拌砂浆，在机械搅拌同时，开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，运行10min，停10min，再次运行10min，如此循环。

所述的超声波发生器为超声波棒，功率为2KW，超声波频率为35KHz。

实施例2：一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，按下述步骤进行，按重量份配置：

第一步：配置砂浆，把1份切削液与1份碳化硅磨料放置在搅拌器中，用机械搅拌方式搅拌25小时，使切削液与碳化硅磨料混合均匀。

第二步：把上述配置好砂浆用泵打入多线切割机的砂浆储罐内，开启机械搅拌，不间断的搅拌砂浆，在机械搅拌同时，开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，不间断运行。

所述的超声波发生器为超声波棒，功率为3KW，超声波频率为80KHz。

实施例3：一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，按下述步骤进行，按重量份配置：

第一步：配置砂浆，把1份切削液与1.2份碳化硅磨料放置在搅拌器中，用机械搅拌方式搅拌30小时，使切削液与碳化硅磨料混合均匀。

第二步：把上述配置好砂浆用泵打入多线切割机的砂浆储罐内，开启机械搅拌，不间断的搅拌砂浆，在机械搅拌同时，开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，运行30min，停30min，再次运行30min，如此循环。

所述的超声波发生器为超声波棒，功率为4KW，超声波频率为65KHz。

实施例4：一种减少多线切割砂浆中气泡的方法，按下述步骤进行，按重量份配置：

第一步：配置砂浆，把1份切削液与1.2份碳化硅磨料放置在搅拌器中，用机械搅拌方式搅拌30小时，使切削液与碳化硅磨料混合均匀。

第二步：把上述配置好砂浆用泵打入多线切割机的砂浆储罐内，开启机械搅拌，不间断的搅拌砂浆，在机械搅拌同时，开启安装在砂浆储罐中的超声波发生器，运行45min，停30min，再次运行45min，如此循环。