[发明专利]一种光学零件几何参数非接触测量方法及其测量装置

权利要求书

1.一种光学零件几何参数非接触测量方法：是对平行光进行电扫描光开关的调制，形成环带状平行光，经锥透镜(螺纹透镜)会聚实现不同距离的会聚点，利用会聚点瞄准并识别光学零件的表面，从而实现对光学零件几何厚度、移动距离以及光学透镜中心高的测量。

2.如权利要求1所述的一种光学零件厚度的非接触测量方法，其特征在于：通过计算和控制单元控制光开关驱动来驱动光开关形成直径依次缩小/增大的透过带，则经过光开关得平行光形成环带状平行光，那么通过透镜后的会聚点沿光轴方向依次向后/向前移动，当会聚点分别瞄准零件的上、下表面时，光路对称原路返回，探测器上两次出现能量峰值，两次出现峰值一一对应于不同的环状光带的半径，那么待测光学平板零件的几何厚度按照下式计算：

d=(R2-R1)·cos(arcsinncsinθn0)tan(arcsin(n0sin(arcsin(ncsinθn0)-θ)n2))·cosθ·cos(arcsin(ncsinθn0)-θ)]]>

其中，θ是锥透镜的锥角，n_c是锥透镜所用材料在光源波长处的折射率，n₂是待测零件的在光源波长处的折射率，R₂和R₁分别对应于两次瞄准时的环状光带的半径。