[发明专利]基于四极杆质谱的稀有气体测定系统

权利要求书

1.一种基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：包括构件：激光样品室(12)、分子真空泵(8)、机械泵(9)、真空计(7)、第一杂质吸收器(6)、第二杂质吸收器(2)、稀有气体标准罐、离子泵(1)、四极杆质谱(3)、第一四通管(31)和第一三通管(21)，通过连接管道：所述的激光样品室(12)经阀B与第一四通管(31)的第～端口相连，第一四通管(31)的第二端口经阀D与第一杂质吸收器(6)相连、第三端口经阀G与第一三通管(21)的第一端口相连，第四端口顺序连有分子真空泵(8)和机械泵(9)，在分子真空泵(8)和第一四通管(31)的第四端口连接管道之间安有真空计(7)，在阀G与第一四通管(31)的第三端口之间的连接管道上连有稀有气体标准罐，第一三通管(21)的第二端口经阀J与离子泵(1)相连，第三端口顺序连接第二杂质吸收器(2)和四极杆质谱(3)，上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连。

2.根据权利要求1所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：在所述的第一四通管(31)与阀B之间的连接管道上顺序安有第二三通管(22)和第三三通管(23)，第二三通管(22)的一个端口经阀A与高温炉(10)相连，第三三通管(23)的一个端口经阀C与液氮手指(11)相连。

3.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：，所述的阀A和阀B为手动VCR波纹密封阀门，所述的阀C、D、E、F、G、H、I和J为自动VCR波纹密封阀门。

4.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：所述的构件与构件之间的连接管道为VCR管道。

5.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：所述的激光样品室(12)是样品腔的窗口为蓝宝石窗口的激光样品室。

6.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：所述的第一杂质吸收器(6)和第二杂质吸收器(2)为锆铝吸气泵。

7.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：所述的真空计(7)为电离真空计。

8.根据权利要求1或2所述的基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：在所述的第一四通管(31)与阀G之间的连接管道上连有第二四通管(32)，第二四通管(32)的另外两个端口分别：经阀F和E与第一标准罐(4)相连，经阀H和I与第二标准罐(5)相连。