[发明专利]一种建立MOSFET模型的方法有效

专利信息
申请号: 201010272044.1 申请日: 2010-09-01
公开(公告)号: CN102385647A 公开(公告)日: 2012-03-21
发明(设计)人: 朱正鹏 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 建立 mosfet 模型 方法
【权利要求书】:

1.一种建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

步骤1、以所述MOSFET的栅极长度和栅极宽度为坐标轴建立坐标系,并在所述坐标系的整个器件尺寸阵列中提取全局模型;

步骤2、将所述步骤1所提取的全局模型中的参数Dvt0、Dvt1、Dvt2、nlx、prwg、prwb、k3、k3b、w0、dwg、dwb、b0、b1、l1、lw、lw1、ww、w1、ww1都设置为0;

步骤3、以所述步骤2所提取的全局模型为基础,提取所述器件尺寸阵列中所有MOSFET器件的单模型;

步骤4、提取分块模型。

2.根据权利要求1所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述步骤1包括:

A、提供一初始全局模型;

B、提取大尺寸器件相关参数;

C、提取宽且短沟道器件相关参数;

D、提取长且窄沟道器件相关参数;

E、提取小尺寸器件相关参数。

3.根据权利要求2所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述步骤C和步骤D互换顺序。

4.根据权利要求2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述初始全局模型为BSIM3模型或由模型提取软件自动提取的全局模型。

5.根据权利要求2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述大尺寸器件相关参数包括:Vth0、U0、Ua、Ub、Uc、K1、a0、ags、keta。

6.根据权利要求2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述宽且短沟道器件相关参数包括:Dvt0、Dvt1、Dvt2、n1x、lint、rdsw、prwg、prwb、eta0、etab、pclm、pvag、vsat。

7.根据权利要求2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述长且窄沟道器件相关参数包括:k3、k3b、w0、wint、dwg、dwb、b0、b1。

8.根据权利要求2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述小尺寸器件相关参数包括:l1、lw、lw1、ww、w1、ww1。

9.根据权利要求1或2或3所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述步骤3包括调节所述全局模型中的相关参数,使得所述全局模型的拟合曲线与各个MOSFET器件的测试曲线相吻合;其中所述相关参数包括Vth0和ags。

10.根据权利要求9所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述相关参数还包括U0、Ua、Ub、Uc、k1、a0、keta。

11.根据权利要求9所述的建立MOSFET模型的方法,其特征在于,所述步骤4包括对所述整个器件尺寸阵列分块,然后建立各个所述方块的子模型,最后生成所述分块模型。

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