[发明专利]基于微器件的减摩擦防粘着纳米有机薄膜的制备方法

权利要求书

1.基于微器件的减摩擦防粘着纳米有机薄膜的制备方法，其特征在于：以微/纳机电系统中使用的铝、铜、镁及其合金作为基底材料，采用三电极方式的恒电流、循环伏安、恒电位有机镀膜技术制备纳米有机薄膜，具体包括以下步骤及工艺条件：

(1)配制镀膜电解质溶液

选取水溶性三氮杂嗪类有机化合物盐0.1～10mmol/l、碱性支持电解盐0.01～10mol/l，配制成镀膜用电解质溶液；

(2)镀膜处理

将经丙酮超声清洗后的基底材料，直接以三电极方式放入上述电解质溶液中进行镀膜，镀膜采用恒电流法、循环伏安法或恒电位法；

所述恒电流法镀膜，其工艺条件为电流密度为0.05～10mA/cm²，镀膜时间为5～90min，镀膜温度为20～30℃；

所述循环伏安法镀膜，其工艺条件为循环扫描速率为1～50mV/s，循环次数为3～15次，镀膜温度为5～30℃；

所述恒电位法镀膜，其工艺条件为电压0.5～1.2V vs SCE，镀膜时间为5～60min，镀膜温度为5～20℃。

2.根据权利要求1所述的基于微器件的减摩擦防粘着纳米有机薄膜的制备方法，其特征在于：所述电解质溶液使用的水溶性三氮杂嗪类有机化合物盐的单体，其具体结构如下：

结构中的R₁为下列功能基团之一：

烷基类：CH₃-，C₂H₅-，C₄H₉-，C₆H₁₃-，C₈H₁₇-，C₁₀H₂₁-，C₁₂H₂₅-，C₄H₉(C₂H₅)CHCH₂-C₄F₉CH₂-，C₆F₁₃CH₂-，C₈F₁₇CH₂-，C₁₀F₂₁CH₂-，C₄F₉CH₂CH₂-，C₆F₁₃CH₂CH₂-，C₈F₁₇CH₂CH₂-，C₁₀F₂₁CH₂CH₂-；烯基类：CH₂＝CHCH₂-，CH₂＝CH(CH₂)₈-，CH₂＝CH(CH₂)₉-，C₈H₁₇CH＝CHC₈H₁₆-，C₄F₉CH₂＝CHCH₂-，C₆F₁₃CH₂＝CHCH₂-，C₈F₁₇CH₂＝CHCH₂-，C₁₀F₂₁CH₂＝CHCH₂-；芳基类：C₆H₅-，C₆H₅CH₂-，C₆H₅CH₂CH₂-，CF₃C₆H₄-，C₄F₉C₆H₄-，C₆F₁₃C₆H₄-，C₈F₁₇C₆H₄-，C₁₀F₂₁C₆H₄-；其它：H-；

结构中的R₂为下列功能基团之一：

烷基类：CH₃-，C₂H₅-，C₄H₉-，C₆H₁₃-，C₈H₁₇-，C₁₀H₂₁-，C₁₂H₂₅-，C₄H₉(C₂H₅)CHCH₂-，C₄F₉CH₂-，C₆F₁₃CH₂-，C₈F₁₇CH₂-，C₁₀F₂₁CH₂-，C₄F₉CH₂CH₂-，C₆F₁₃CH₂CH₂-，C₈F₁₇CH₂CH₂-，C₁₀F₂₁CH₂CH₂-；烯基类：CH₂＝CHCH₂-，CH₂＝CH(CH₂)₈-，CH₂＝CH(CH₂)₉-，C₈H₁₇CH＝CHC₈H₁₆-，C₄F₉CH₂＝CHCH₂-，C₆F₁₃CH₂＝CHCH₂-，C₈F₁₇CH₂＝CHCH₂-，C₁₀F₂₁CH₂＝CHCH₂-；芳基类：C₆H₅-，C₆H₅CH₂-，C₆H₅CH₂CH₂-，CF₃C₆H₄-，C₄F₉C₆H₄-，C₆F₁₃C₆H₄-，C₈F₁₇C₆H₄-，C₁₀F₂₁C₆H₄-；其它：H-；

结构中的M₁和M₂均为下列原子之一：氢、钠、钾。